Ø 测量原理
本仪器测量原理为直角坐标测量法，即通过X轴、Z1轴传感器，测绘出被测零件的表面轮廓的坐标点，通过电器组件，将传感器所测量的坐标点数据传输到上位PC机，软件对所采集的原始坐标数据进行数学运算处理，标注所需的工程测量项目。
Ø 测量功能
轮廓测量功能
尺寸：包含水平距离、垂直距离、线性距离、半径、直径
夹角：包含水平角、垂直角、夹角
位置公差：包含平行度、垂直度
形状公差：包含直线度、凸度、圆弧轮廓度
辅助生成：包含辅助点、辅助线、辅助圆
粗糙度测量功能
粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波纹度参数：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
原始轮廓参数：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
Ø 测量范围
| 项目 | 测量范围 | 分辨率 |
| 驱动器 | 100mm | 0.2μm |
| 轮廓传感器 | 25mm | 0.05μm |
| 粗糙度传感器 | ±420μm | 65536:1 |
| 立柱 | 320mm | - |
Ø
技术规格
| 轮廓仪部分技术参数 | 线性精度1 | ±（1.5+|0.2H|）μm |
| 圆弧2 | ±（2+R/8）μm | |
| 角度3 | ±2′ | |
| 直线度4 | 0.8μm/100mm | |
| 粗糙度部分技术参数 | 线性精度 | ±(7nm+3.5%) |
| 残值噪声 | ≤0.025μm | |
| 重复性 | 1δ≤2nm | |
| 截止波长 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
| 评定长度 | λcX2、3、4、5、6、7 | |
| 运动控制 | X轴驱动方式 | 电动 |
| Z轴驱动方式 | 电动 | |
| X轴驱动速度 | 0.1~10mm/s | |
| Z轴驱动速度 | 0.5-10mm/s |
注：1、H为水平位置上的测量高度；2、2mm＜R＜10mm的标准球，取样圆弧夹角为120°；3、60°、90°的角度块，角边取样长度为5mm；4、λc为2.5mm，测量速度为≤0.3mm/s；5、2mm＜R＜10mm的标准球，取样圆弧夹角为120°6、以上参数均在20℃±5℃，阶梯温度不超过2℃/h的环境下测得；7、地面震动RMS
＜50HZ 2.5μm/s /＞50HZ 5.0μm/s。
