MCV-2002型激光多普勒干涉仪技术规格
MCV-2002型激光多普勒干涉仪,采用一个双光束激光头和一个双通道的处理器,可用来精确测量和校准机床、三座标测量机和X-Y平台的机械精度。
测量功能:
1.测量轴的定位精度、重复定位精度及反向间隙;
2.测量轴的角偏(直线度角值)、直线度(线值);
3.测量平台的平面度;
4.选购附件(SQ-500)后可测量轴的垂直度;
5.选购附件(RT-100或RT-100A)后可测量转台精度;
6.选购附件后可测量圆形运动(激光球杆测量)精度。
主要特点:
1.激光头小型化,无须三脚架,用磁座可直接安装在机床的工作台上或主轴上;
2.激光头和靶标反射镜二件之间只要发生相对位移就能进行测量,测量系统中无须分光镜、所以对光极其方便;
3.一次测量可同时测量出轴的定位精度、角偏和直线度,并可根据美国、德国有关工业标准及ISO-230标准来分析测量结果,测量结果可列表打印出或绘图打印出来;
4.在测量角偏、直线度和平面度时可采用飞行采样方式,在测量过程中无须仃机也可采样检测,节约了测量时间和编程时间;
5.测量系统响应速度快,在机床速度达1.8米/秒情况下仍可正常采样、计数,并保持0.01微米的分辨率;
6.测量点数、测量位置和测量次数可按需设定;
7.系统软件通过外接的传感器,可自动对气压、气温和材料温度进行补偿;
8.测量分析软件可直接在(带Windows操作系统和RS232接口)的个人电脑上运行。
技术规格:
1.分辨率:
定位: 0.01微米
角偏: 0.2秒
直线度: 0.01微米
2.测量精度(不确定度)
定位: 1ppm(1微米/每米)
角偏: 读数的0.2%
直线度: 读数的0.2%
3.测量范围
定位: 10米(zui长可选购60米)
角偏: 5米(zui长可选购30米)
直线度: 5米(zui长可选购30米)
4.zui大可测角偏: ±10度
5.光靶zui大移动速度: 1.8米/秒
6.电源: 90~235VAC,50~60赫
7.操作环境:
温度: 5~38℃(可选购0~40℃)
高度: 0~3000米
相对湿度: 0~95%