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硅芯片检查显微镜

硅芯片检查显微镜
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产品型号LW300MT

品       牌

厂商性质经销商

所  在  地北京市

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更新时间：2018-05-15 14:54:13浏览次数：599次

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产品简介
LW300MT硅芯片检查显微镜专为微电子行业量身定做，适用于硅、砷化镓、磷化铟等基片6″8″盘的生产工艺检查；可以方便的快移和精确的位移检查；也可以适用其它需较大面积标本的工艺检查

详情介绍

LW300MT硅芯片检查显微镜技术参数

规格
 
目  镜:  10X 广角目镜, 焦距25 mm, 视场数Φ22 mm。
三目镜:  30°倾斜，瞳距：53~75 mm。
物  镜:  无限远平场消色差明/暗视场物镜 （无盖玻片）
放大倍数
数值孔径
工作距离（mm）
备注
5X
0.12
9.70
 
10X
0.25
3.73
20X
0.40
7.23
40X
0.60
3.04
转换器: 四孔滚珠内定位转换器。
载物台: 双层机械式载物台, 尺寸：210 X 140 mm，移动范围：75 X 50 mm。
聚光镜: 阿贝聚光镜（带孔径光栏, 数值孔径1.25）。
调焦机构：粗微同轴调焦，粗动手轮松紧可调，带限位锁紧装置，微动格值2μm/格。
照  明: 上光源（落射照明）12V50W卤素灯，亮度可调。
      下光源（透射照明）12V30W 卤素灯，亮度可调。
电  源：输入电源电压 （85~265V 50/60Hz）。
目  镜:  10X 广角目镜, 焦距25 mm, 视场数Φ22 mm。
三目镜:  30°倾斜，瞳距：53~75 mm。
物  镜:  无限远平场消色差明/暗视场物镜 （无盖玻片）
放大倍数
数值孔径
工作距离（mm）
备注
5X
0.12
9.70
 
10X
0.25
3.73
20X
0.40
7.23
40X
0.60
3.04
转换器: 四孔滚珠内定位转换器。
载物台: 双层机械式载物台, 尺寸：210 X 140 mm，移动范围：75 X 50 mm。
聚光镜: 阿贝聚光镜（带孔径光栏, 数值孔径1.25）。
调焦机构：粗微同轴调焦，粗动手轮松紧可调，带限位锁紧装置，微动格值2μm/格。
照  明: 上光源（落射照明）12V50W卤素灯，亮度可调。
      下光源（透射照明）12V30W 卤素灯，亮度可调。
电  源：输入电源电压 （85~265V 50/60Hz）。
 
 
1.  擦拭机体与载物台面
擦拭前应从主电源插座中拔掉电源插头，确保仪器电源断开。然后用干净柔软的抹布蘸少许中性清洁剂擦拭机体与载物台面。使用仪器前要请确认仪器干燥。
2.  擦拭光学部件
显微镜中的目镜、物镜中的镜片都有镀膜。请不要在非常干燥或大灰尘的环境下擦拭。擦拭时首先把可见的灰尘吹去，然后用棉签或抹镜纸蘸少许镜片清洁剂或*擦拭镜片表面，不可使用如二甲苯之类的溶剂擦拭镜片。
3.  切勿随意拆卸显微镜！
显微镜是精密光学仪器，各零部件切勿随便拆卸，以免损害其操作效能和精度。如有故障应送专业维修部门或与供应商。
4.  不使用仪器时！        
仪器不使用时，用有机玻璃或聚乙烯罩子罩上，并存放在干燥与没有霉菌滋生的地方。物镜和目镜放在有干燥剂的密闭容器中。

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