当前位置：深圳市万德泉科技有限公司>>inficon薄膜沉积控制产品（晶控仪）>> RSH-600 旋转式探头
适用于应用的晶体性能
RSH-600 旋转式传感器头设计用于需要采用非常厚的薄膜和多种不同材料的苛刻应用。RSH-600 将六颗晶体固定在热屏蔽、水冷却的壳体中，确保在温度高达 300°C 的应用环境下获得的晶体性能。晶体固定在一个易于拆卸的 Teflon? 和不锈钢晶体支架中。
| 类型 | RSH-600 Rotary Sensor | |
|---|---|---|
| 晶体数量 | Six | |
| 晶体尺寸 | 14 mm (0.550 in.) diameter | |
| 安装孔 | 50.8 mm (2.0 in.) diameter | |
| 总长度 | See Data Sheet | |
| 真空可调长度 | See Data Sheet | |
| 电源要求 | 24 V (dc) Solenoid Valve: 21.6 - 26.4 V (dc), 40 mA 115 V (ac) Solenoid Valve: 90 - 132 V (ac), 36/32 mA rms (50/60 Hz) | |
| 晶体转换方法 | Air Actuated @ 55 psi (4 kg/cm2) regulated | |
| 冷却方法 | Water cooled at 5 L/m at 2 kg/cm2 (28 psi) (Do not allow to freeze) | |
| 空气和水连接 | One ? in. quick connect for air, two ? in. compression fittings for water | |
| 无水时的烘烤温度 | 130° C | |
| 工作温度（水冷） | 300° C max with stainless steel head cover 400° C max with copper head cover | |
| 重量 | RSH-600 ~ 8.5 lb. (3.8 kg), varies with overall length | |
| 材料 | 304 stainless steel, Teflon?, Beryllium Nickel | |
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