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QMG 700 分析质谱仪-气相色谱

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更新时间:2020-09-14 10:57:33浏览次数:112次

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QMG 700 分析质谱仪QMG 700 分析质谱仪超越检测极限且达到优异的稳定性和细微的分辨率 半导体制造技术的快速发展有赖于灵敏而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中,选择 INFICON QMG 700 分析质谱仪以突破检测极限,推动工艺创新,提升工艺水平。QMG 700 的模块化设计带来的性能和适应性。利用 QMG 700 增强竞争优势,获得出众的测量能力。 根据具体的应用要求,选择配制合适的离子源、滤质器和射频电源,可量身定制QMG 700。QMG 700有超过九个数量级的动态测量量程,达到ppb 检测量级,这种优势使其成为超高真空测量的理想选择。QMG 700 对整个质量范围都有很高的分辨率,对较低的质量可获得更高的分辨率。对于某些挑战性的测量应用,如同位素分析,氦和氘分离等,QMG 700是*的选择。QMG 700 出色的*稳定性可保证关键性的测量,有效控制您的工艺。 INFICON 在分析质谱仪领域五十多年的历史的技术,确保QMG 700 成为进行气体分析的正确选择。依赖 INFICON QMG 700 以及我们......

QMG 700 分析质谱仪

超越检测极限且达到优异的稳定性和细微的分辨率

半导体制造技术的快速发展有赖于灵敏而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中,选择 INFICON QMG 700 分析质谱仪以突破检测极限,推动工艺创新,提升工艺水平。QMG 700 的模块化设计带来的性能和适应性。利用 QMG 700 增强竞争优势,获得出众的测量能力。


根据具体的应用要求,选择配制合适的离子源、滤质器和射频电源,可量身定制QMG 700。QMG 700有超过九个数量级的动态测量量程,达到ppb 检测量级,这种优势使其成为超高真空测量的理想选择。QMG 700 对整个质量范围都有很高的分辨率,对较低的质量可获得更高的分辨率。对于某些挑战性的测量应用,如同位素分析,氦和氘分离等,QMG 700是*的选择。QMG 700 出色的*稳定性可保证关键性的测量,有效控制您的工艺。

INFICON 在分析质谱仪领域五十多年的历史的技术,确保QMG 700 成为进行气体分析的正确选择。依赖 INFICON QMG 700 以及我们享誉世界的应用专长,您可获得始终如一的高精度测量数据。


功能

  • 质量范围选择为 1-2048 amu
  • 超过九个数量级的动态量程
  • 极快的测量速度:0.125 ms/amu
  • MDPP < 10E-16 mbar
  • 涵盖整个质量范围的高分辨率:质量 1、2 和 3 可在 ppb 范围内清晰地分离

  • 超过 10 个不同的离子源和离子光学组合
  • 离散或连续倍增电极电子倍增器选件
  • 用于正负离子以及中性粒子分析的离子计数前置放大器
  • IO 选项:8 个模拟输入/输出和 32 个数字输入/输出
  • 软件功能强大,灵活实用且具友好的用户界面

典型应用

  • Gas discharge mass spectrometry
  • End point detection
  • Deposition material monitoring
  • Secondary ion mass spectrometry

零件号

QMA 400
零件号明细
490-709
490-710 QMA 400 with axial Ionenq.
490-711 QMA 400, 8mm Mo,217, W, CB
490-712 QMA 400 mit CB-IQ, MAG
490-713 QMA 400, 8mm Mo,217, CB-GT
490-721 QMA 400 mit CB_Ionenq. gasd.
490-722 QMA 400 m. CB-IQ, Y-Kat., Mag. isol.
490-755
490-756 QMA 400, 8mm Mo, UF6
490-756-2 QMA 400, 8mm Mo, UF6 Untested Assembly
490-770 QMA 400 mit CB-Ionenq.gasd., spezial
490-772 QMA 400 with Axial Ionenq, W
BKM07627
PTM07736 QMA 400 mit Crossb.-Ionenq.
QMA 410
零件号明细
490-811 QMA 410 Cross Beam IS w/ Magnet
490-813 QMA 410, CB-IQ Gas-Tight with Magnet
490-816 QMA 410,16mm Mo,217, W, CB
QMA 430
零件号明细
490-911 QMA 430, 8mm SS,217, W, CB
490-912 QMA 430, 8mm SS,217, W, CB-GT
490-921 QMA 430, 8mm SS,217, W, CB (GIA)

规格

类型QMA 400QMA 410QMA 430
质量范围1-2048 amu (1)1-340 amu (2)1-300 amu
传感器长度441.5 mm548 mm441.5 mm
杆直径8 mm16 mm8 mm
杆材料MolybdenumMolybdenumStainless Steel
法兰DN 63 CF-FDN 100 CF-FDN 63 CF-F
检测器类型Faraday/SEV 217Faraday/SEV 217Faraday/SEV 217
大工作压力 (FC)1 E-4 mbar1 E-4 mbar1 E-4 mbar
大工作压力 (EM)1 E-5 mbar1 E-5 mbar1 E-5 mbar
灵敏度5 E-4 A/mbar1 E -3 A/mbar2 E-4 A/mbar
小可检测分压1 E-15 mbar5 E-16 mbar1 E-15 mbar
分辨率(可调)0.3 - 7 amu0.2 - 2.2 amu0.3 - 7 amu
分压比< 0.5 ppb< 0.5 ppb< 0.5 ppb
工作温度 传感器150 °C150 °C150 °C
烘烤温度400 °C400 °C400 °C
工作温度 电子单元40 °C40 °C40 °C
测量速度0.125 ms - 60 s/amu0.125 ms - 60 s/amu0.125 ms - 60 s/amu
电源100 - 240 VAC100 - 240 VAC100 - 240 VAC

(1) QMA 400 的可检测质量范围为:1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。

QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置

(2) QMA 410 的可检测质量范围: 1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。

QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置

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