当前位置：深圳市迈昂科技有限公司>>等离子体监控系统>> PlasCalc-UV-VIS/NIRPlasCalc等离子体监测控制仪-监控系统
PlasCalc等离子体监测控制仪，实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量，通过高级过程控制系统及精密数据存取算法，只需3s就可以获得测量结果。
Recipe编辑器
Recipe编辑器有助于简单快捷的配置、构建及存储实验方法。对一些困难的等离子体工序诸如膜沉积测量、等离子体蚀刻监测、表面洁度监测、等离子体室控制及异常污染、排放监测等，能够快速简单的构建模块过程控制。
多种工具用于等离子体诊断
随PlasCalc配置的操作软件，集成的程式编辑器能够容易实现多种数学算能。可选的波长发生器（可以单独购买）用于类型确认，而波长编辑器可以用于优化信噪比。双窗口界面用于显示实际光谱及所有过程控制信息。
技术参数
光谱范围 | 200-1100 nm |
光学分辨率 | 1.0 nm (FWHM) |
D/A 转换 | 14 bit |
数字I/O | 8 x TTL |
模拟输出 | 4 x [0-10V] |
接口 | USB 1.1 |
功耗 | 12 VDC @ 1.25 A |
电源 | 90-240 VAC 50/60 Hz |
尺寸 | 257 mm x 152 mm x 263 mm |
重量 | 5 kg |
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