当前位置：安徽贝意克设备技术有限公司>>磁力拉杆式CVD设备>> 磁力拉杆式硫化钼制备CVD设备
主要特点
此设备特点是将硫粉放于左端冷区，当硫化过程开始时利用拉杆式将硫粉推进热场。控制电路选用模糊PID程控技术，具有控温精度高，温冲幅度小，性能可靠，简单易操作。同样也适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
技术参数
 | 炉管尺寸： | 外径Φ25/50/60/80/100*1000mm（可选） |
| 极限温度： | 1200℃ | |
| 工作温度： | ≤1100 ℃ | |
| 温度控制器： | PID自动控制晶闸管（可控硅）输出功率， 30段可编程控制器 | |
| 升温速率： | ≤50℃/min | |
| 加热区： | 200+200mm | |
| 恒温区： | 100+100mm | |
| 控温精度： | ±1 ℃ | |
| 电源： | 单相220V，交流50Hz | |
| 3路质量流量供气系统 （触摸屏控制）  | 电压： | 185~245V/50Hz |
| 输出功率： | 18W | |
| 流量计标准量程： | 100 ，200，500SCCM （非特殊以氮气标定，量程可选定） | |
| 工作温度： | 5~45 ºC | |
| 工作压差： | 0.1～0.5 MPa | |
| 压力： | 3MPa | |
| 准确度： | ±1.5% FS | |
| 低真空系统  | 抽速： | 8.11 m³/h |
| 极限总压： | 3×10-3 mabr | |
| 进排气口： | DN 25 KF | |
| 噪音 （气镇开关时，距离1米处测量） | 54 dB | |
| 注油量： | 0.7- 1.1 L | |
| 重量： | 21 Kg | |
| 工作温度： | 10~40 ℃ | |
| 功率： | 550W |
请输入账号
请输入密码
请输验证码
以上信息由企业自行提供，信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责，仪表网对此不承担任何保证责任。
温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
仪表网