当前位置：安徽贝意克设备技术有限公司>>卷对卷石墨烯膜生长设备>> 卷对卷连续生长PECVD设备RTR-III-80-PE
该设备为我司研发用于石墨烯薄膜连续生长或者线性材料的连续的专用设备，此款设备是快速冷却卷对卷等离子体增强CVD连续生长炉，它由高温生长腔体，三路质量流量计气路系统，真空机组，RF射频电源模块，石英管，冷却装置，收放卷的密封装置，自动化控制系统组成，两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室，收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮，所输出料排气腔体与炉体之间安装有冷却装置。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的优点，可以进行大面积、高质量石墨烯的规
1.加热系统
| 温度 | 1200℃ |
| 使用温度 | ≤1100℃ |
| 炉膛有效尺寸 | Φ80mm（适用于2-3英寸样品，炉管直径可根据实际需要定制。） |
| 炉膛材料 | 氧化铝、高温纤维制品 |
| 热电偶类型 | K型热电偶 |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 控温方式 | 30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7”工控电脑，内置PLC控制程序。 |
| 加热长度 | 200+200+200mm |
| 加热原件 | 电阻丝 |
| 供电电源 | 单相，220V，50Hz |
2、PE系统
| 功率输出范围 | 0W~500W |
| 反射功率 | 100W |
| 射频输出接口 | 50 Ω, N-type, female |
| 功率稳定度 | ≤5W |
| 谐波分量 | ≤-50dbc |
| 供电电压 | 单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ |
| 整机效率 | >=70% |
| 功率因素 | >=90% |
| 冷却方式 | 强制风冷 |
| 功率输出范围 | 0W~500W |
| 反射功率 | 100W |
| 射频输出接口 | 50 Ω, N-type, female |
| 功率稳定度 | ≤5W |
3.三路质子流量控制系统
| 连接头类型 | 双卡套不锈钢接头 |
| 标准量程（N2) | 200sccm，500sccm、1000sccm（可根据用户要求定制） |
| 准确度 | ±1.5%F.S |
| 线性 | ±1%F.S |
| 重复精度 | ±0.2%F.S |
| 响应时间 | 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
| 工作压差范围 | 0.1～0.5 MPa |
| 压力 | 3MPa |
| 接口 | Φ6,1/4'' |
| 显示 | 4位数字显示 |
| 工作环境温度 | 5~45高纯气体 |
| 压力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
| 截止阀 | Φ6 |
| 内外双抛不锈钢管 | Φ6 |
4、低真空机组
| 空气相对湿度 | ≤85% |
| 工作环境 | 5℃～40℃ |
| 工作电电压 | 220V±10% 50~60HZ |
| 功率 | 1KW |
| 抽气速率 | 10m³/h |
| 极限真空 | 5X10-1Pa |
| 工作压力范围 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
| 耐压值 | 0.03MPa |
| 容油量 | 1.1L |
| 进气口口径 | KF25 |
| 排气口口径 | KF25 |
| 噪音 | 50dB |
| 连接方式 | 采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连 |
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