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进口分子泵机组VAU-05
该系统由德国的前级无油泵，后级分子泵，真空传感器和电子控制系统和LED液晶显示组成，此系统是用来抽吸或压缩空气和其它无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体，以便在封闭容器中形成真空和压力，吸入气体中允许混有少量液体。它被广泛用于新能源材料，金属材料，磁性材料，半导体材料，陶瓷材料，电化学，薄膜材料，CVD,PECVD ,石墨烯，硅纳米管，纳米线，等研究领域。由于在工作过程中，气体的压缩是等温的，所以在压缩和抽吸易燃、易爆气体时，不易发生危险，因此其应用更加广泛。
| 品牌 | 德国 莱宝 LEYBOLD（） |
| 干/湿 | 无油的干式真空泵组 |
| 分子泵抽速 | 65 L/s |
| 前级泵抽速 | 0.7 m³/h |
| 极限压力 | 10-7 mbar |
| 启动时间 | 1.5 min |
| 进气口 | DN63 ISO-K |
| 冷却方式 | 空 冷 |
| 电压 | 单项，220V |
| 额定功率 | 300 W |
| 重量 | 14.5 Kg |
| 泵体体积 | 250*356*357 mm |
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