当前位置：安徽贝意克设备技术有限公司>>多温区CVD系统>> 双温区磁力拉杆设备（固态源、气态源、多源）BTF-1200C-II-SL
主要特点
此设备具有两个独立的温场，温场之外配有磁力拉杆和石英料舟，并配有内探热电偶，可实现在实验过程中将固态源(如硫粉、硒粉等)推进热场，并同时可检测温度。
技术参数
| BTF-1200C-II-SL | |
| 温场 | 两个独立温场 |
| 温度 | 1200℃ |
| 工作温度 | 1100℃ |
| 推荐升温速率 | 10℃/min |
| 炉管 | 高纯度石英管Φ50x1400mm（可根据要求设计） |
| 加热区长度 | 200+200mm |
| 恒温区长度 | 200mm |
| 控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
| 供气系统 | |
| 外形尺寸 | 600x600x650mm |
| 连接头类型 | 双卡套不锈钢接头 |
| 标准量程（N2) | 100sccm、200sccm、500sccm； （可根据用户要求定制）;准确度：±1.5%;线性：±0.5～1.5%;重复精度：±0.2% |
| 响应时间 | 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
| 工作压差范围 | 0.1～0.5 MPa |
| 压力 | 3MPa |
| 接口 | Φ6,1/4'' |
| 显示 | 4位数字显示 |
| 工作环境温度 | 5~45高纯气体 |
| 内外双抛不锈钢管 | Φ6 |
| 压力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
| 截止阀 | Φ6 |
| 真空机组 | |
| 空气相对湿度 | ≤85% |
| 工作电压 | 220V±10% 50~60HZ |
| 功率 | 1千瓦 |
| 抽气速率 | 10m³/H |
| 极限真空 | 4X10-2Pa |
| 实验真空度 | 1.0X10-1Pa |
| 容油量 | 1.1L |
| 进气口口径 | KF25 |
| 排气口口径 | KF25 |
| 转速 | 1450rpm |
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