当前位置：安徽贝意克设备技术有限公司>>单温区CVD系统>> 滑轨式CVD石墨烯生长系统（型号：BTF-1200C-SL-CVD）
设备特点
此款设备是专为生长石墨烯、碳纳米管研制的生长专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验，温区可独立程序控制，设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。
1.加热系统
| 温度 | 1200℃ |
| 使用温度 | ≤1100℃ |
| 石英管尺寸 | Φ25/φ50/φ60/Φ80/φ100*1400mm |
| 炉膛材料 | 氧化铝、高温纤维制品 |
| 热电偶类型 | K型热电偶 |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 控温方式 | 30段可编程控温，PID参数自整定。 |
| 加热长度 | 440mm |
| 恒温区长度 | 200mm |
| 加热原件 | 电阻丝 |
| 供电电源 | 单相，220V，50Hz |
2、三路质子流量控制系统
| 连接头类型 | 双卡套不锈钢接头 |
| 标准量程（N2) | 200sccm，500sccm、1000sccm（可根据用户要求定制） |
| 准确度 | ±1.5%F.S |
| 线性 | ±1%F.S |
| 重复精度 | ±0.2%F.S |
| 响应时间 | 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
| 工作压差范围 | 0.1～0.5 MPa |
| 压力 | 3MPa |
| 接口 | Φ6,1/4'' |
| 显示 | 4位数字显示 |
| 工作环境温度 | 5~45高纯气体 |
| 压力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
| 截止阀 | Φ6 |
| 内外双抛不锈钢管 | Φ6 |
3、低真空机组
| 空气相对湿度 | ≤85% |
| 工作环境 | 5℃～40℃ |
| 工作电电压 | 220V±10% 50~60HZ |
| 功率 | 1KW |
| 抽气速率 | 10m³/h |
| 极限真空 | 5X10-1Pa |
| 工作压力范围 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
| 耐压值 | 0.03MPa |
| 容油量 | 1.1L |
| 进气口口径 | KF25 |
| 排气口口径 | KF25 |
| 噪音 | 50dB |
| 连接方式 | 采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连 |
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