BPG400 大气压至超高真空真空计

BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计

INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑的装置中，测量范围从 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）。 多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。 选择BPG400真空计，价格经济，且可重复测量基准压力。

益处

• 测量范围非常广，从 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）
• 10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
• 皮拉尼联锁保护贝阿德-阿尔珀特系统在高压操作下单丝过早烧毁和过度污染
• 使用寿命长的氧化钇铱丝
• 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
• 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
• RoHS 合规
• 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

典型应用

• 对半导体过程和传输腔室的压力测量
• 工业镀膜
• 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制