TV-2KG分子泵的一员,但性能更胜过普通分子泵,它是专为等离子体工艺领域设计开发的抽气系统。事实上,TV-2KG的各抽气级甚至整个泵的结构,都是以能在较高氩气负载和温度条件下保持*佳抽气性能为目标来优化设计的,它的电路系统具有更多附加特性,泵内还集成了放气和抽气阀门,其轴承具有免维护特性,这些优点无疑使TV-2KG成为应用在镀膜行业的*好的分子泵。
TV-2KG 分子泵
·*典型应用-针对薄膜沉积设备而特别设计的抽气系统
·是目前性能*优,造型*紧凑的机型
·*新型的一体式抽气理念,旨在实现*大生产量和*短停机时间
系统界面
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| ·一体化 的机型包括了涡轮分子泵,驱动配置,供电电源配置,气体保护配置机通信配置 |
·通用 的电子接口,便于用户使用控制软件 |
·模拟I/O信号,标配为RS232或RS485接口 |
·可选配Varian 通用总线控制接口 |
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| ·在特定的应用领域,通用产品无法**满足性能要求
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| ·TV-2KG是应广大用户的真实需求而开发,可实现用户满意度
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| ·配备,为工业镀膜行业量身定做
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| ·满足工业生产的工艺要求,得到工业界的认同
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| 供货链及物流
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| ·通过有效的组织和计划,保证了在*合适的时间和地点提供配件,减少用户在当地的库存
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| ·供货链上各种相关产品能高效周转,用户只备少量库存亦可应付自如
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| ·Varian的客户服务组织采用*的SAP系统,在共同运作
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| 监测及故障诊断
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| ·具备自诊断功能
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| ·实时监测分子泵的各项参数,包括振动图谱
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| ·借助简单的数据连接,Varian的服务组织可以为您提供实时服务
·主动的维护计划使分子泵的使用寿命及运行时间大大延长
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| 完善的支持
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| ·设有免费的,为您提供实时全程服务
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| ·各地的Varian代表使用您熟悉的语言与您沟通,为您提供技术/应用/订货/工程等方面的支持
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| ·提供*广泛的服务计划,即使苛刻的需求您也可以得到专门周到的服务
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| 镀膜领域的应用包括|
| ·建筑玻璃镀膜,汽车玻璃镀膜,太阳能玻璃镀膜
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| ·平板显示屏镀膜
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| ·光学及电磁数据存储产品的镀膜,如读写探头
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| ·用于增强耐磨性能的表面处理
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| ·用于眼科透镜的光学镀膜及用于光学数据传输上的虑光镜镀膜
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| ·制备功能性薄膜及装饰型镀膜,包括金属化膜层
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| ·可应用于食品工业,包装业及电子产品行业的卷绕镀膜
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| ·可应用于气载叫道的PVD及其它等离子体工艺设备
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| 可靠的设计|
| TV-2KG身为分子泵的一员,但性能更胜过普通分子泵,它是专为等离子体工艺领域设计开发的抽气系统。事实上,TV-2KG的各抽气级甚至整个泵的结构,都是以能在较高氩气负载和温度条件下保持*佳抽气性能为目标来优化设计的,它的电路系统具有更多附加特性,泵内还集成了放气和抽气阀门,其轴承具有免维护特性,这些优点无疑使TV-2KG成为应用在镀膜行业的*好的分子泵。
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| 的拖动级设计|
| TV-2KG虽然外形紧凑,但其拖动级的设计确保了在高原强下对氩气抽气使仍保持大抽气量。拖动级由一体化的两层盘片组成,这样的设计大大提高了散热效率 ,因而*大程度地降低了泵高速运转时的内部温度。
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| 内置的充气及放气装置
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| TV-2KG将充气及放气阀集成于泵内,为世界。充气保护及放气过程的控制都由内部电路驱动完成,不再需要任何部件置于泵体外部。分子泵在这样周到的保护下,不易受到外部冲击和污染的损伤,因而*大限度地延长了使用寿命。
免维护
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| TV-2KG系统配置了Varian地轴承和无油润滑系统,可免维护长期运转。另外,它可任意位置安装,而丝毫不会降低其性能和寿命。
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| 内置的温度监测系统
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| TV-2KG配备了特别的温度控制系统,使其能够实时监控泵的气载,功率,及冷却水温度,确保了材料负荷及轴承负荷在安全范围内工作。
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| 内置型具有防水性能的电路系统
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| TV-2KG所有的电路系统,都置于泵的底壳内,具有防水特性,符合IP54规范。借助微处理器的强大功能,TV-2KG的控制接口能与外部控制系统方便地连接,并通过一台笔记本电脑和Navigator软件轻松实现各种控制。
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| 分子泵选型指南|
| 分子泵 |
产品型号 | V70 | V70D | V70LP | V301 | V551 | V701 | V1001 | V2000HT | V6000 |
转速 rpm | 75000 | 75000 | 75000 | 56000 | 42000 | 42000 | 38000 | 33000 | 14000 |
进气口法兰 DN | 40/63 | 40/63 | 40/63 | 100/160 | 100/160 | 200 | 160/200/250 | 250 | 500 |
出气口法兰DN | 16 | 16 | 16 | 16 | 25 | 25 | 40 | 40 | 100 |
抽速 N 2 L/s | 46/68 | 40/60 | 46/68 | 250/280 | 350/550 | 690 | 790/950/1050 | 1950 | 6000 |
压缩比 N2 | 5×107 | 5×107 | 5×108 | 7×108 | >1×109 | 1×109 | 1×109 | >1×109 | >1×1010 |
极限压强 mbar | 1×10-9 | <1×10-9 | <2×10-10 | <5×10-10 | <1×10-10 | <1×10-10 | <1×10-10 | 1×10-10 | <1×10-10 |
启动时间 min | < 1 | < 1 | < 1 | 2.5 | < 5 | < 5 | < 4 | 10 | 30 |