这款半自动探针台广泛用作电动分析探针台和半自动晶圆探针台,可测试200mm晶圆,采用重型多功能探针台平台制造,配置灵活多样,具有加热制冷晶圆夹盘chuck,体式显微镜,RF屏蔽箱等诸多配件可选择,适合半导体器件探针台测试和晶圆探针台测试等多种应用
这款半自动探针台广泛用作电动分析探针台和半自动晶圆探针台,可测试200mm晶圆,采用重型多功能探针台平台制造,配置灵活多样,具有加热制冷晶圆夹盘chuck,体式显微镜,RF屏蔽箱等诸多配件可选择,适合半导体器件探针台测试和晶圆探针台测试等多种应用。
半自动探针台特色
电动XY样品夹盘,步进电机高精度控制,电控Z轴运动，可选配Theta角控制选项
适合低于0℃的测试应用或者屏蔽RF的应用
电动样品台，行程范围200mm x 200mm
加载或卸载晶圆非常方便
精密电控XYZ样品位移台和电控台板
可升级到半自动探针控制功能（选配）
光滑的磁铁台板可支撑高达10个磁性或真空定位器
高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, LED照明,放大倍数3.5X~180X
适合连接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF链接接头
标准的XYZ三维位移台显微镜
可提供RF探针,RF卡盘,RF隔离箱等附件
半自动探针台规格参数
适合晶圆大小：200mm
电动XY位移台： 行程范围200mm x 200mm， 分辨率1.5um
电动Z轴台： 行程12.5mm 或25mm可选， 分辨率高达400nm
Theta台： 电控或手动控制可选， 分辨率可达0.01度
台板：固定
台板平面度：<+/-12.7um @150mm长度
台板刚度： <50um @4.5kg
样品夹盘规格
真空：多区真空
平面度：+/-13um
(可根据客户应用要求，提供各种样品夹盘）
显微镜：高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, 放大倍数范围3.5X~180X
电学接头：BNC, Triax, RF, Banana插头
安装要求：真空度<600Torr, CDA:60psi(仅适用于启动XY升级位移台）
整体尺寸: W78cm xD80cm x H58cm
净重：85kg ~95kg (根据所选不同配件）
