反射膜厚仪/测厚仪/F50系列
自动多点测量成像
Filmetrics F50 系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta 平台可接受标准和客制化夹盘，样品直径标配200mm，可达450mm。(稳定的样品台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!)
測绘圖案可以是极座標、矩形或线性的，您也可以创造自己的测绘方法，并且不受测量点数量的限制。內建数十种预定义的测绘圖案。
不同的F50型号仪器是根据波长范围来加以区分的。 标准的F50是欢迎的产品。一般较短的波长(如F50-UV) 可用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
可测样品膜层：
基本上所有光滑的，非金属的薄膜都可以测量。
可测样品包括：
氧化硅 氮化硅 类金刚石 DLC
光刻胶 聚合物 聚亚酰胺
多晶硅 非晶硅 硅
额外的好处：
· 每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种
· 应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）
· 网上的 “手把手" 支持(需要连接互联网)
· 硬件升级计划
型号 | 厚度范围* | 波长范围 |
F50 | 20nm-70µm | 380-1050nm |
F50-UV | 5nm-40µm | 190-1100nm |
F50-NIR | 100nm-250µm | 950-1700nm |
F50-EXR | 20nm-250µm | 380-1700nm |
F50-UVX | 5nm-250µm | 190-1700nm |
F50-XT | 0.2µm-450µm | 1440-1690nm |
F50-s980 | 4µm-1mm | 960-1000nm |
F50-s1310 | 7µm-2mm | 1280-1340nm |
F50-s1550 | 10µm-3mm | 1520-1580nm
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