博思发科技（深圳）有限公司
博思发科技（深圳）有限公司
| 安装方式 | 直接安装 | 产地 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 加工定制 | 是 | 显示方式 | 其他 |
| 测试条件 | 加热电流=7mA,?Ta=25°C | 范围 | 10-3?，?30?Torr |
| 分辨率1 | 0.25?Torr?5至30?Torr | 分辨率2 | 0.05?Torr?2?至5?Torr |
| 分辨率3? | 0.005?Torr?10-3?至2?Torr | 精度?2 | ±5?%?读数? |
| 测量电阻?(1级) | 130，?160，?180?Ohm?At?25°C | 参考电阻?(1级) | 250?，320?，370?Ohm?At?25°C |
| 测量电阻?(2级) | 110，?160，?200?Ohm?At?25°C | 参考电阻?(2级) | 220?，320，?400?Ohm?At?25°C |
| 电阻TCR | 0.0025?/°K | 湿度 | 0?100?%?相对湿度，无凝露 |
| 加热电流 | 6?，7?mA | 工作温度范围 | -40?，?85?°C |
| 功耗 | 5?mW?10-3?至30?Torr | 抗冲击性 | 1000?g |
| 过压 | 27.5?Bar | 可测气体体积 | 0.1?cm3 |
| 响应时间 | 5?mSec |
博思发科技公司的PVC1000系列MEMS微型皮拉尼真空传感器提供了突破性的真空测量解决方案，不但体积小，而且具有超低功耗、长寿命、低现场维护和低成本的优点。
依据气体热导率与低真空范围的压力成正比的原理，博思发科技公司的微型皮拉尼真空传感器测量加热元件电阻值的微小变化，这一变化产生的原因是热量传递到周围气体而引起的温度改变，与气体热导率相关。
博思发科技公司的PVC1000系列MEMS微型皮拉尼真空传感器提供了突破性的真空测量解决方案，不但体积小，而且具有超低功耗、长寿命、低现场维护和低成本的优点。依据气体热导率与低真空范围的压力成正比的原理，博思发科技公司的微型皮拉尼真空传感器测量加热元件电阻值的微小变化，这一变化产生的原因是热量传递到周围气体而引起的温度改变，与气体热导率相关。加热元件(测量电阻)由位于绝热膜上的铂薄膜电阻构成。绝热膜悬浮在一个微加工的空腔上，空腔底部表面与绝热膜平行，以确保精准测量热导率。因为只需要少量气体(腔内体积)就可以实现高精度的测量，所以博思发科技公司的微型皮拉尼真空传感器具有超低功耗和快速响应时间。传感器芯片上有一个参考电阻，具有与测量电阻相同的温度系数(TCR)，可用来做环境温度补偿。博思发科技公司采用MEMS技术生产的微型皮拉尼真空传感器，在小型化的同时，实现了高可靠性、低成本、使用方便和超低功耗，PVC1000系列产品已成为行业标准。采用PVC1000系列传感器可以帮助客户改进现有产品并开发出创新产品。
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