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磁控溅射脉冲电源

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更新时间：2023-09-18 09:25:07浏览次数：293次

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陕西蓝海电气有限公司

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产品简介

随着科学技术不断地发展，磁控溅射技术也得到了快速的发展，但在磁控溅射过程中，关键部分是脉冲磁控溅射电源，目前，脉冲磁控溅射电源向大功率、高频化方向发展，由于开关电源的高频化使得开关电源的损耗增加，因此，我公司设计生产的大功率磁控溅射脉冲电源采用了移相式软开关技术，大大降低了电源的开关损耗，提高了电源的效率，利用输出电流保护点设置的方法，是输出电流任意调节，实现了快速反应的过流保护。

详细介绍

产品名称：磁控溅射脉冲电源

产品型号：BIPS-50001.2E

随着科学技术不断地发展，磁控溅射技术也得到了快速的发展，但在磁控溅射过程中，关键部分是脉冲磁控溅射电源，目前，脉冲磁控溅射电源

向大功率、高频化方向发展，由于开关电源的高频化使得开关电源的损耗增加，因此，我公司设计生产的大功率磁控溅射脉冲电源采用了移相式软开

关技术，大大降低了电源的开关损耗，提高了电源的效率，利用输出电流保护点设置的方法，是输出电流任意调节，实现了快速反应的过流保护。高

效和完善的保护措施是电源能长期可靠的运行保证，电源控制采用数字化设计，实现电源的本地控制和上位机智能化控制的目的。

电源采用脉冲单元叠加技术,将5组相互独立的单元模块串联起来,采用同步驱动技术,实现了5kV 的高压脉冲输出。可通过增减脉冲单元的数量,满足

不同输出电压的需要,实现了模块化设计。

该系列电源的指标为:
脉冲电压幅值500V～5kV ,脉冲频率500Hz～50kHz ,脉冲占空比5%～90% ,脉冲电流幅值10～200A ,脉冲功率5～50kW。