北京中海远创材料科技有限公司
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产品描述P-7台式探针式轮廓仪支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境
P-7台式探针式轮廓仪支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。作为台式探针轮廓仪平台提供了的性价比。
主要功能
· 台阶高度：几纳米至1000μm
· 微力恒力控制：0.03至50mg
· 样品全直径扫描，无需图像拼接
· 视频：500万像素高分辨率彩色摄像机
· 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
· 软件：简单易用的软件界面
· 生产能力：通过测序，模式识别和SECS/GEM实现全自动化
主要应用
· 台阶高度：2D和3D台阶高度
· 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度
· 形状：2D和3D翘曲和形状
· 应力：2D和3D薄膜应力
· 缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌
工业应用
· 大学、研究实验室和研究所
· 半导体和化合物半导体
· LED：发光二极管
· 太阳能
· MEMS：微机电系统
· 数据存储
· 汽车
· 医疗设备
· 更多信息，请与我们联系以满足您的要求
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