干泵的组成及原理：
美国ELIVAC的ESCD系列无油涡旋真空泵由泵头、电机和机座构成。泵头含有动、定涡旋盘、曲轴、密封件、风扇和泵壳组成。涡旋盘为圆形平面和其上伸出的一条或几条渐开线螺旋盘壁组成，定涡旋盘与动涡旋盘组成涡旋盘构成无油涡旋真空泵的基本抽气机构。工作过程中动、定涡旋盘互不接触，依靠相对运动形成容积不断缩小的新月形吸气腔和压缩腔，通过吸气、压缩、排气的循环使气体从抽气口吸入、排气口排出，实现对被抽腔体抽真空。
干泵的应用领域：
真空封装、存储。
真空炉。
排气台。
烘箱、冷冻干燥
气体回收、再循环。
制冷、空调管路抽真空。
制动、管路抽真空。
激光抽真空。
分子泵前级。
工艺预抽真空。
镀膜。
检漏。
手套箱。
质谱仪。
电子显微镜。
高能束线、加速器。
高真空试验台。
样品制备。
美国ELIVAC的ESCD系列无油涡旋真空泵特点：
工作可靠。
ESCD系列无油涡旋真空泵在半导体、航空航天、石油化工、食品药品、电力、能源、环保、汽车、分析测试仪器等行业生产线上常年连接运行，稳定可靠。为各行业生产和科学研究用户信赖。
性能。
对被抽系统无油污染，创造洁净的真空环境。
噪音低，振动小，温升低，密封材料性能优异、寿命长达5年，可可耐用。
排气机构部件互不接触，无摩擦，效率高；没有返油与水蒸汽，不喷油，节能环保。
极限压力低至1Pa以下，可替代油旋片真空泵。
性价比高。
价格合理，节省采购成本。
运动件无摩擦能耗低，配件质优价廉，服务及时可靠，节省运行成本。
不需要冷却水和润滑油，不需要日常维护，节省人工费用。
