批次真空订制腔体 返回列表页

批次式（Batch type）设备的腔体形状及尺寸不一，例如要求冷却效果而设计的双层腔体，为了提升产能而设计的双门腔体，其他如真空度要求、成膜方式、制程气体种类及基板材质等都会影响真空腔体的设计，Htc日扬科技可以配合客户需求并提供相关参考经验达到真空腔体设计的*化。

Htc日扬科技制造的Batch type Chambers应用在：液晶注入机、车灯镀膜机、刀具镀膜设备、矽晶长晶设备、电浆清洗设备、真空排气系统、晶圆检测设备、软板制程传输设备、卷绕式镀膜机、真空加热设备及薄膜太阳能电池镀膜设备