北京燕京电子有限公司
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图片 简介 MSP系列薄膜分析产品来自美国AST公司，其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量，同样对于材料NK参数也可以实现测量，为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了便利
MSP系列薄膜分析产品来自美国AST公司，其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量，同样对于材料NK参数也可以实现测量，为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了便利。
| 基本功能 | 1，针对微小区域测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数的测量 |
| 产品特点 | l 强大的数据运算处理功能及材料NK数据库； |
| 系统配置 | 型号：MSP100RTM |
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波长范围：250nm到1000 nm
波长分辨率: 1nm
光斑尺寸：100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)
基片尺寸：zui多可至20mm厚
测量厚度范围: 20Å 到25 μm
测量时间：zui快2毫秒
精度*：优于0.5%(通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
重复性误差*：小于2 Ǻ
主要应用于透光薄膜分析类领域：
1 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)
2 半导体制造(PR，Oxide, Nitride…)
3 液晶显示(ITO，PR，Cell gap...)
4 医学，生物薄膜及材料领域等
5 油墨，矿物学，颜料，调色剂等
6 医药，中间设备
7 光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
8 半导体化合物
9 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
l0 非晶体，纳米材料和结晶硅
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