椭偏仪[1-2]是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高,适用于超薄膜,与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真空,使得椭偏仪成为一种吸引力的测量仪器。中文名椭偏仪特点测量精度高光谱范围深紫外的142nm到红外33um可选应用领域半导体、微电子、MEMS等1工作原理下图给出了椭偏仪的基本光学物理结构。已知入射光的偏振态,偏振光在样品表面被反射,测量得到反射光偏振态(幅度和相位),计算或拟合出材料的属性。入射光束(线偏振光)的电场可以在两个垂直平面上分解为矢量元
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