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仪表网>全部分类 >测量/计量 >光学测量 >椭偏仪
椭偏仪

椭偏仪[1-2]是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高,适用于超薄膜,与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真空,使得椭偏仪成为一种吸引力的测量仪器。中文名椭偏仪特点测量精度高光谱范围深紫外的142nm到红外33um可选应用领域半导体、微电子、MEMS等1工作原理下图给出了椭偏仪的基本光学物理结构。已知入射光的偏振态,偏振光在样品表面被反射,测量得到反射光偏振态(幅度和相位),计算或拟合出材料的属性。入射光束(线偏振光)的电场可以在两个垂直平面上分解为矢量元

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椭偏仪

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  • 分光椭偏仪SEMILAB在线光

    分光椭偏仪SEMILAB在线光谱椭偏仪SE-3000
    在线光谱椭偏仪SE-3000,在线光谱椭偏仪μSE-2500,分光椭偏仪SE-2100 (旋转补偿器型),分光椭偏仪SE-2000 (旋转补偿器型),分光椭偏仪SE-2000 (旋转补偿器型),激光椭圆仪LE-5100
  • 教学激光椭偏仪

    BX-G105教学激光椭偏仪是基于消光法(或称“零椭偏”)测量原理,针对纳米薄膜厚度测量领域推出的一款自动测量型教学仪器。BX-G105仪器适用于纳米薄膜的厚度测量,以及纳米薄膜的厚度和折射率同时测量。教学激光椭偏仪还可用于同时测量块状材料(如,金属、半导体、介质)的折射率n和消光系数k。
  • 纳米光伏专用激光椭偏仪

    BX-G104纳米光伏专用激光椭偏仪针对光伏太阳能电池推出的专用型多入射角激光椭偏仪。BX-G104用于测量绒面单晶硅或多晶硅太阳电池表面减反膜镀层的厚度以及在632.8nm下的折射率n。也可测量光滑平面材料上的单层或多层纳米薄膜的膜层厚度,以及在632.8nm下折射率n和消光系数k。 BX-G104融合多项量拓科技技术,采用单多晶一体化样品台技术,兼容测量单晶和多晶太阳电池样品,并实现二者的瞬间
  • 激光椭偏仪

    BX-G103激光椭偏仪可在单入射角度或多入射角度下对样品进行准确测量。可用于测量单层或多层纳米薄膜样品的膜层厚度、折射率n和消光系数k;也可用于同时测量块状材料的折射率n和消光系数k;亦可用于实时测量纳米薄膜动态生长中膜层的厚度、折射率n和消光系数k。多入射角度设计实现了纳米薄膜的绝对厚度测量。
  • 紫外广义光谱椭偏仪

    BX-G102紫外广义光谱椭偏仪BX-G102紫外广义光谱椭偏仪针对科研和工业环境推出的高精度快速摄谱型广义光谱椭偏仪,波长范围覆盖紫外、可见到红外。 广义光谱椭偏仪采用宽带超消色差补偿器、利用步进补偿器扫描测量采样模式、基于高灵敏度探测单元和光谱椭偏仪分析软件,用于测量纳米薄膜样品、块状材料和各向异性材料。
  • 高精度灵敏光谱椭偏仪

    BX-G101高精度灵敏光谱椭偏仪针对科研和工业环境中薄膜测量推出的高精度快速摄谱型光谱椭偏仪,波长范围覆盖紫外、可见到红外。 光谱椭偏仪基于高灵敏度光谱探测单元和光谱椭偏仪分析软件,用于测量单层和多层纳米薄膜的层构参数(如,厚度)和物理参数(如,折射率n、消光系数k,或介电函数ε1和ε2),也可用于测量块状材料的光学性质。
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