北京燕京电子有限公司
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是集精装、自动、智能於一身的多用途光谱感应系统，适合各工业使用於测量UV/VIS/NIR光谱范围内的反射/透射光谱感应收集器，包含的光电二极管阵列的光谱感应器、微电脑设置及高精度镜头，快速提供高解像电子报告。适用於不同测量需要方式，可作监督、品管及实验室测量。
系统配置：
• 型号：SR300
• 探测器： 2048像素的CCD线阵列
• 光源：高稳定性、长寿命的卤素灯
• 光传送方式：光纤
• 台架平台：特殊处理铝合金，能够很容易的调节样品重量、200mmx200mm的大小
• 软件： TFProbe 2.2版本的软件
• 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连
• 测量类型：薄膜厚度，反射光谱，折射率
• 电脑硬件要求：P3以上、zui低50 MB的空间
• 电源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A
• 保修：一年的整机及零备件保修
规格：
• 波长范围：400到1100 nm
• 光斑尺寸：500μm至5mm
• 样品尺寸：200mmx200mm或直径为200mm
• 基板尺寸：zui多可至50毫米厚
• 测量厚度范围*：20nm〜50μm
• 测量时间：zui快2毫秒
• 精确度*：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）
• 重复性误差*：小于1 Ǻ
选项:
用于传递和吸收测量的传动夹具（SR300RT）
zui低可测量直径为µm大小的微光斑（MSP300）
在多个位置下，多个通道用于同时测量（SR300xX）
在超过或毫米晶片上所进行的统一测绘（SRM300-300/200）
应用:
•半导体制造（PR，Oxide, Nitride..）
•液晶显示（ITO，PR，cell gap... ..）
•医学，生物薄膜及材料领域等
•油墨，矿物学，颜料，墨粉
•医药，中间设备
•光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
•半导体化合物
•在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
•非晶体，纳米材料和结晶硅
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