矽翔微机电系统(上海)有限公司成都分公司
美国矽翔微机电系统有限公司采用的微机电系统(MEMS)流量传感技术和智能电子控制技术,专为普通气体流量检测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量,不需要旁路设置,压损小。该传感器既可用于净化行业中空气或氮气的流量监控,也可用于环境检测行业(如大气采样器)和分析仪器(如色谱分析仪)等。管道内径为3mm测量范围zui大5SLPM,适用于粒子计数器和各类分析仪器。
专为管径3mm的气管中的低压气体流量而设计
支持多种连接方式,易于安装与使用
传感器芯片采用热式质量流量计量,无需压力温度补偿,保证了传感器的高精度计量
在单个芯片上实现了多个传感器集成,使其量程比高达100:1甚至更高
输出方式灵活,即可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据,也可以通过模拟接口或者输出线性的模拟电压
零点稳定高
全量程高稳定性,高精确度和优良的重复性
低功耗,低压损
响应速度快
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