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伯东企业(上海)有限公司


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上海伯东代理分子束外延设备 MBE-8

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参  考  价:1000000 - 10000000
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号

  • 品牌

    其他品牌

  • 厂商性质

    代理商

  • 所在地

    上海市

联系方式:罗小姐查看联系方式

更新时间:2023-02-10 11:07:42浏览次数:153次

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产品简介
产地 进口 加工定制
适用领域 其他    

上海伯东代理分子束外延设备 MBE-8 可以成长三寸以下的样品, 样品温度可以加到 900 摄氏度, 如果是两寸以下的样品可以到 1100 摄氏度. 可以装置 8个束源炉, zui大容量 40cc. 配备晶振, 束流监控器, 高能电子枪以及监控软件. 可以装置固体源, 气体源 / ALD阀

详细介绍

因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准


分子束外延 MBE-8

分子束外延 MBE-8
上海伯东代理分子束外延设备 MBE-8 可以成长三寸以下的样品, 样品温度可以加到 900 摄氏度, 如果是两寸以下的样品可以到 1100 摄氏度. 可以装置 8个束源炉, zui大容量 40cc. 配备晶振, 束流监控器, 高能电子枪以及监控软件. 可以装置固体源, 气体源 / ALD阀, 等离子增强型束源炉 ( plasma cell ) 及电子回旋共振束源炉 ( ECR plasma cell ). 可装电子枪 E-beam.

此腔体是用 SUS316 不锈钢制作, 真空可到 2×10-10 torr, 使用上海伯东德国 Pfeiffer HiPace 700 分子泵.内部有全罩式液态氮冷罩, 可提供非常大的抽气效率. 分子束外延设备在长二维材料以及拓扑材料, 氧化物方面都有不错的性能. 如: III-V 族, II-VI 族, Si / SiGe, 金属与金属氧化物以及 GaN, AlN, AlGaN, InGaN, AlGaInN, CIGS, OLED 等.

分子束外延 MBE-8 主要参数
• Cylindrical SS316L electro-polished chamber with Liquid N2 Cryopanel
• ~2E-10 Torr Base Pressure
• UHV pumps and gauges
• 3-in substrate size
• 4-axes sample manipulator (XYZ, and Rotation)
• SiC heating element with sample heating temperature: 900°C
• 2-12 slots for effusion cells, gas source, vavle crackers, and/or plasma source
• Standard RHEED system (real-time epitaxy monitoring)
• Beam flux monitor
• Mask system with z-motion
• Pressure control system: upstream and downstream
• FBBeam System Control Software

分子束外延设备优势
清洁基体表面, 无氧层
外延 ( 原子层 ) 沉积
沉积薄膜均匀性好, 纯度高
金属种子, 半导体材料和掺杂剂的原位沉积

准确控制热蒸发
使用 RHEED 系统进行现场涂层监测
沉积薄膜的超竖琴 XRD 图谱




若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生



关键词:监控软件

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