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位移传感器|电涡流位移传感器
超精密电涡流位移传感器
有埃米级分辨率电涡流位移传感器SMU9000、SMT9700,
电涡流位移传感器
其典型应用:
光学平台位置测量;半导体和光器件的研磨闭环测控;半导体模板对齐系统定位;半导体蒸镀系统定位;
电子显微镜垂直轴定位;原子显微镜垂直轴定位;磁悬浮轴控制;部件研磨加工的精确定位;镜片定位控制;
物质收缩测试测量;机械结构变形探测与测试;高精度照排3D位置测量;读写头制造,研磨板定位;
有纳米级高稳定差动电涡流位移传感器KD5100
电涡流位移传感器 特点:
-超高分辨率,1埃
-信噪音比:1PPM
-精确度0.1%,通过计算机校准;
-频响:0~10KHZ
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