上海纳动纳米位移技术有限公司
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XY轴▕ PK2L100-150U-S Ø35mm
规格型号PK2L100-150U-S
典型特性行程范围300 µm(闭环)、无机械摩擦铰链设计、 、中空尺寸Ø35mm、的定位稳定性
产品应用显微镜平台(光传输应用)、晶圆处理和半导体、掩模定位和光刻、扫描显微术、计量学和材料科学 承载能力:30N
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主营产品:压电陶瓷,压电纳米定位台,压电促动器,压电驱动,红外扫描台,中空式压电平台,压电陶瓷片,压电纤维片,压电点胶阀控制器,压电偏转镜,压电物镜聚焦平台
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