上海纳动纳米位移技术有限公司
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XY轴▕ PK2L60-040U-S Ø20mm 规格型号PK2L60-040U-S
典型特性■ 行程范围40 µm（闭环）； ■ 无机械摩擦铰链设计； ■ 高性能压电驱动； ■ 中空尺寸Ø20mm； ■ 承载能力1500g； ■ 开/闭环版本可选.
产品应用: ■ 显微镜平台； ■ 半导体、晶圆处理； ■ 掩模定位和光刻； ■ 显微扫描技术； ■ 2维扫描成像； ■ 微定位操做.
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