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二维压电扫描台/中控式压电平台/孔状平台-电子/半导体检测仪器

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产品型号XY轴▕ PK2L60-±040U

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更新时间：2017-04-22 10:29:20浏览次数：187次

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产品简介

XY轴▕ PK2L60-±040U-S Ø20mm 规格型号PK2L60-±040U
典型特性无机械摩擦柔性铰链设计、运动范围±40μm、 · 通孔孔径20mm、内置SG传感器位置反馈
产品应用扫描探针显微镜、原子力显微镜、光谱分析、FPD相关检查、光刻系统、曝光装置、定位测量
承载能力：15N

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