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上海纳动纳米位移技术有限公司


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压电纳米定位系统-电子/半导体检测仪器

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具体成交价以合同协议为准

产品型号PSVL30-100U-S

品       牌

厂商性质生产商

所  在  地上海市

联系方式:石女士查看联系方式

更新时间:2018-05-16 13:33:08浏览次数:438次

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经营模式:生产厂家

商铺产品:160条

所在地区:上海上海市

联系人:石女士 (销售)

产品简介
产地 国产 加工定制

压电纳米定位系统应用越来越广泛,从原子力显微镜、精密光学设备、半导体设备到各种*行业。纳米位移系统能够产生和测量优于纳米(nm)的位移,整个系统包含3部分:纳米位移台、控制器和控制软件。

详细介绍

    压电纳米定位系统应用越来越广泛,从原子力显微镜、精密光学设备、半导体设备到各种*行业。纳米位移系统能够产生和测量优于纳米(nm)的位移,整个系统包含3部分:纳米位移台、控制器和控制软件。

压电纳米定位系统产品特性:

■ 3D纳米扫描定位平台

■ *孔径35mm

■ 标称运动范围80μm

■ 快速扫描应用

■ 纳米定位

产品应用:

扫描显微镜 • 掩膜/晶圆定位 • 计量学 • 半导体测试 • 干涉测量 • 纳米定位 • 生物技术 • 微操作

技术参数:

运动和定位

 

 

 

主动轴

θZ

 

 

旋转范围

>360

°

 

速度,闭环

720

度/秒

zui大

zui小位移

51

微弧度

典型值

双向重复性

±102

微弧度

 


传感器

 

 

 

传感器类型

增量编码器

 

 

传感器分辨率

17

微弧度

 


机械负载能力

 

 

 

负载能力/轴向力

5

zui大

保持力矩

0.03

牛米

zui大


驱动性能

 

 

 

电机类型

PILine®超声波压电电机,性能级别1

 

 

顺时针/逆时针驱动力矩(θZ)

0.025

牛米

zui大


连接器

 

 

 

电机/传感器

1×Sub-D,15-针(公)

 

 


其他

 

 

 

参考点开关

光学

 

 

工作温度

0 到 40

°C

 

材料

铝(黑色阳极氧化)

 

 

质量

300

±5 %

电缆长度

1.5

典型值

所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。

真空兼容型可达10-6 百帕,可按需提供 真空版本的规格可能会有所不同。

 


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