上海纳动纳米位移技术有限公司
产地 | 国产 | 加工定制 | 是 |
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压电纳米定位系统应用越来越广泛,从原子力显微镜、精密光学设备、半导体设备到各种*行业。纳米位移系统能够产生和测量优于纳米(nm)的位移,整个系统包含3部分:纳米位移台、控制器和控制软件。
产品应用:
扫描显微镜 • 掩膜/晶圆定位 • 计量学 • 半导体测试 • 干涉测量 • 纳米定位 • 生物技术 • 微操作
技术参数:
运动和定位 |
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主动轴 | θZ |
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旋转范围 | >360 | ° |
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速度,闭环 | 720 | 度/秒 | zui大 |
zui小位移 | 51 | 微弧度 | 典型值 |
双向重复性 | ±102 | 微弧度 |
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传感器类型 | 增量编码器 |
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传感器分辨率 | 17 | 微弧度 |
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负载能力/轴向力 | 5 | 牛 | zui大 |
保持力矩 | 0.03 | 牛米 | zui大 |
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电机类型 | PILine®超声波压电电机,性能级别1 |
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顺时针/逆时针驱动力矩(θZ) | 0.025 | 牛米 | zui大 |
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电机/传感器 | 1×Sub-D,15-针(公) |
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参考点开关 | 光学 |
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工作温度 | 0 到 40 | °C |
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材料 | 铝(黑色阳极氧化) |
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质量 | 300 | 克 | ±5 % |
电缆长度 | 1.5 | 米 | 典型值 |
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
真空兼容型可达10-6 百帕,可按需提供 真空版本的规格可能会有所不同。
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商铺:https://www.ybzhan.cn/st78756/
主营产品:压电陶瓷,压电纳米定位台,压电促动器,压电驱动,红外扫描台,中空式压电平台,压电陶瓷片,压电纤维片,压电点胶阀控制器,压电偏转镜,压电物镜聚焦平台
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