上海纳动纳米位移技术有限公司
上海纳动纳米位移技术有限公司
| 产地 | 国产 | 加工定制 | 是 |
|---|---|---|---|
| 适用行业 | 其他 |
高速扫描压电纳米定位台是采用压电陶瓷驱动的一至三维纳米级精密定位平移台，平台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。
高速扫描压电纳米定位台是采用压电陶瓷驱动的一至三维纳米级精密定位平移台，平台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。
高速扫描压电纳米定位台产品应用：
光纤对准 • 干涉测量 • 微加工 • 微操作 • 显微光学 • 光纤定位 • 生物技术 • 半导体测试 • 纳米定位
产品特点：
◆ 紧凑的外形尺寸：结构紧凑，易于集成；
◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统，多轴快速扫描；
◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，开/闭环可供选择。
技术参数：
产品型号 | PS3H30-005U | PS3H30-005U-S | 公差 | |
运动自由度 | X、Y、Z | X、Y、Z | - | |
传感器类型 | - | Strain Gage | - | |
标称行程范围（@0~+120V） | 5.5 μm/轴 | 5.5 μm/轴 | ±20% | |
行程范围（@-20~+150V） | 8.0 μm/轴 | 8.0 μm/轴 | ±20% | |
分辨率 | 0.1 nm | 0.2 nm | typ. | |
重复定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | |
线性度 | - | 0.1% F.S. | typ. | |
承载能力 | 5 N | 5 N | Max. | |
谐振频率 | 0g | （X）1.6 KHz、（Y）1.6 KHz、（Z）2.8 KHz | （（X）1.6 KHz、（Y）1.6 KHz、（Z）2.8 KHz | ±20% |
静电容量 | 0.68 μF/轴 | 0.68 μF/轴 | ±20% | |
工作温度范围 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
驱动电压范围（*）1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | |
线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | |
外形尺寸(LxH) | 30×30×42 mm | 30×30×42 mm | - | |
重量 | 0.2 Kg | 0.2 Kg | ±5% | |
本体材质2 | 铝（B） | 铝（B） | -
| |
上海纳动纳米位移技术有限公司（简称“纳动纳米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河泾新兴技术开发区，是一家专业集精密机械、精密驱动、精密传感、精密控制、精密测量、精密光学等各领域的技术于一体的*，专注于超精密纳米级定位及运动控制技术与产品的开发，并致力于创新开发压电微米定位、压电纳米定位、压电定位控制及测量等设备提供系统的技术解决方案，满足于国内外市场对超精密纳米级定位及运动控制技术需求的专业研发制造商。
上海纳动纳米位移技术有限贵公司自主研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶瓷/促动器、纳米级精密定位台/扫描台、压电纳米定位平移台/升降台/偏摆台/旋转台、纳米级光束偏转镜、纳米级显微扫描平台、纳米级物镜聚焦/扫描器、纳米级红外微扫描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高精度位移传感器、压电陶瓷驱动/控制器、高精度微位移测量系统等系列产品。
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