压电马达线性平移台采用无声的超声波马达，超声波马达是通过一个耦合元件抵住移动导向转子，在高频电流下压电陶瓷促动器被激发产生超声波振动，促动器的变形使耦合元件相对于转子产生周期性的对角运动，每个循环的进给为几个纳米，高频的信号，可以使转子高速的运动。
压电马达线性平移台主要应用：
l 光电子学
l 扫描电子显微镜
l 半导体生产
l 医学和材料科学
l 生命科学与生物技术学
l 显微镜和计量学
主要特点：
l 大行程 （92mm）
l 高精度（78nm）
l 高速度（400mm/s）
l 支持断电自锁
l 可在真空和非磁环境
选型：
产品型号 | ESLP50-2 | ESLP100-2 | ESLP150-2 | 行程 | 50 | 100 | 150 | zui大推力（N） | 16 | zui大速度（mm/S） | 200 | zui小步长（nm） | 50 | 光栅分辨率（um） | 0.5(1um和50nm)光栅可选 | 重复定位精度（um） | <±2um | | | zui大负载（kg） | 3.5 | 4.5 | 5 | 结构材质 | 铝合金/不锈钢 |
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上海纳动纳米位移技术有限公司（简称“纳动纳米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河泾新兴技术开发区，是一家专业集精密机械、精密驱动、精密传感、精密控制、精密测量、精密光学等各领域的技术于一体的*，专注于超精密纳米级定位及运动控制技术与产品的开发，并致力于创新开发压电微米定位、压电纳米定位、压电定位控制及测量等设备提供系统的技术解决方案，满足于国内外市场对超精密纳米级定位及运动控制技术需求的专业研发制造商。 上海纳动纳米位移技术有限公司本着“创新，立足，精益打造纳米定位与运动控制中国制造的品牌“的目标，力求*国内技术空白，打破国外对中国的技术壁垒和国外产品垄断中国市场的局面，为中国智能装备产业和科研领域提供*运动和测控解决方案提供关键技术和打造坚实基础。
