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超精密压电红外扫描器

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产品型号PK2H52-012U

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更新时间：2018-06-28 08:54:00浏览次数：336次

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上海纳动纳米位移技术有限公司

经营模式：生产厂家

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产品简介

产地	国产	加工定制	否
适用领域	科研

超精密压电红外扫描器采用压电陶瓷驱动的压电红外纳米扫描器，压电红外扫描器内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，红外纳米扫描器具有的运动精度，分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。

详细介绍

超精密压电红外扫描器 内部采用并联式结构设计，结构紧凑，所有促动器作用在同一个移动台面上，可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构，并联结构有着更轻的质量，更低的惯量和更高的动态性。中空式设计，且*通孔较大，可更好的集成于红外热成像扫描系统中。

应用：

原子力显微镜高分辨率CCD 三维共焦显微激光平面干涉纳米光刻红外热成像扫描光纤对接纳米光刻

超精密压电红外扫描器特点：
1-3维运动

大运动范围370μm

一体式结构设计，多维运动无耦合

大透光孔径35mm

闭环精度可达0.15%F.S.

技术参数：

产型号		PK2H52-012U	公差
运动自由度		X、Y	-
传感器类型		-	-
标称行程范围（@0~+120V）		17 μm	±20%
zui大行程范围（@-20~+150V）		12 μm	±20%
分辨率		0.1 nm	typ.
重复定位精度		-	typ.
线性度		-	typ.
承载能力		2.5 N	Max.
刚度		（X）1.5 N/μm、（Y）1.5 N/μm	±20%
谐振频率	0g	（X）1000 Hz、（Y）1000 Hz	±20%
静电容量		1.8 μF/轴	±20%
工作温度范围		-10~+70 ℃	-
驱动电压范围（*）1		0~+120 V	typ.
线缆长度		1.5 m	±10mm
中孔尺寸		Ø25.5×23mm	-
外形尺寸(LxH)		58×52×10 mm	-
重量		60 g	±5%
本体材质2		铝（W）	-