上海纳动纳米位移技术有限公司
产地 | 国产 | 加工定制 | 是 |
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适用行业 | 其他 |
1~3维精密微动压电平台内置高性能压电陶瓷作为驱动元件,采用SGS传感器闭环,实现精密高速定位运动,产品结构紧凑,易于集成,采用分离式结构设计,减小了两自由度之间的耦合,采用高可靠性的压电陶瓷驱动,具有较高的重复定位精度和纳米级位移分辨率,机体材料分铝合金,严格保证构结精度;采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构;采用*的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力。
1~3维精密微动压电平台内置高性能压电陶瓷作为驱动元件,采用SGS传感器闭环,实现精密高速定位运动,产品结构紧凑,易于集成,采用分离式结构设计,减小了两自由度之间的耦合,采用高可靠性的压电陶瓷驱动,具有较高的重复定位精度和纳米级位移分辨率,机体材料分铝合金,严格保证构结精度;采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构;采用*的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力。
1~3维精密微动压电平台典型应用
• 显微成像 • 纳米定位
• 生物技术 • 半导体技术
• 质量保证测试 • 微车削
• 原子力显微镜
■ 产品特性
1.采用高性能的压电陶瓷驱动;
2.具有开环和闭环两种规格型号;
3.采用数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度;
4.采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构;
5.采用*的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力;
6.超高性能的开/闭环扫描平台。
型号说明:
产品型号 | PK3L60-080U | PK3L60-080U-S | 公差 | |
运动自由度 | X、Y、Z | X、Y、Z | - | |
传感器类型 | - | Strain Gage | - | |
标称行程范围(@0~+120V) | 80 μm/轴 | 80 μm/轴 | ±20% | |
行程范围(@-20~+150V) | 100 μm/轴 | 100 μm/轴 | ±20% | |
分辨率 | 5 nm | 7 nm | typ. | |
重复定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | |
线性度 | - | 0.15% F.S. | typ. | |
承载能力 | 6 N | 6 N | Max. | |
刚度 | 0.8 N/μm | 0.8 N/μm | ±20% | |
谐振频率 | 0g | (X)210 Hz、(Y)210 Hz、 (Z)190 Hz | (X)210 Hz、(Y)210 Hz、 (Z)190 Hz | ±20% |
静电容量 | 1.6 μF/轴 | 1.6 μF/轴 | ±20% | |
工作温度范围 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
驱动电压范围(*)1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | |
线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | |
外形尺寸(LxH) | 60×60×24 mm | 60×60×24 mm | - | |
重量 | 180 g | 180 g | ±5% | |
本体材质2 | 铝(B)、钢 | 铝(B)、钢 |
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商铺:https://www.ybzhan.cn/st78756/
主营产品:压电陶瓷,压电纳米定位台,压电促动器,压电驱动,红外扫描台,中空式压电平台,压电陶瓷片,压电纤维片,压电点胶阀控制器,压电偏转镜,压电物镜聚焦平台
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