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精密压电扫描台-电子/半导体检测仪器

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产品型号XY轴 PK2L70-080U

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更新时间：2018-06-28 08:51:36浏览次数：329次

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上海纳动纳米位移技术有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：160条

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产品简介

产地	国产	加工定制	是

精密压电扫描台采用压电陶瓷驱动的Z向纳米级压电显微扫描台，压电扫描台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，压电扫描台采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。

详细介绍

精密压电扫描台采用压电陶瓷驱动的Z向纳米级压电显微扫描台，压电扫描台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，压电扫描台采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。

精密压电扫描台产品应用：

原子力显微镜高分辨率CCD 三维共焦显微激光平面干涉纳米光刻红外热成像扫描光纤对接纳米光刻

特点：
◆ 超薄的外形尺寸，超大的中空尺寸；
◆ 超大的行程；
◆ 采用无摩擦、无回差的柔性铰链导向系统，具有超高的导向精度；
◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。

技术参数：