HF/HCl浓度计监测仪 HF-960H

HF/HCl浓度计监测仪 HF-960H适用于测量高浓度的氢氟酸和盐酸等HF-960H精确测量用于半导体制造或其它制程中所使用的氢氟酸和盐酸。使用4-电极电导率测量转换，测量范围广。的FES-510系列传感器使用高抗药性的材料制成，可对应高浓度的氢氟酸和盐酸。其对偶电路和软件与4-极式炭质传感器相结合测量范围可达0至1000mS/cm而无需切换。由于具有两种浓度转换功能，所以可将其作为过程浓度计使用，也可监测特定化学药液中的浓度变化。

特征

• 大量程适用

自动小数点位调整能够测量的TMAH量程从0.000至10.00%。

• 自动显示范围切换

从高至低浓度显示范围自动切换。当维持有效的电导率分辨率是也可使用该产监测变化

• 可测3种数值：TMAH浓度值、电导率计和温度

当基于相关温度特性数据补偿温度时测量TMAH浓度。本机也可用于测量其它化学药液的电导率。

• 耐药性4-极炭质传感器

采用了新型的使用高耐药性玻璃碳材料的FES-510系列4-极式流通型传.

• 4-通道传送输出

本机配有4个输出通道，所以可分别用于温度、电导率和温度。可从2个类型的输出电流中进行选择：4至20 mA DC, 或 0 至 20 mA DC.

• 24 V DC 电源

   

• RoHS兼容