探针台的操作

探针台的操作方法探针台用途：
手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。
仪准科技擅长领域手动探针台Probe station，激光开封机Laser decap，光发射显微镜EMMI，IV自动曲线量测仪，红外显微镜，半导体失效分析设备，集成电路测试：非破坏xing分析

探针台的操作方法 探针台的使用方式：
 1.将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。
2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。
3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。
4.显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。
5.待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，*则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。
6.确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。

探针台的操作方法

常见故障的排除
当您使用本仪器时，可能会碰到一些问题，下表列举了常见的故障及解决方法。
症状 可能原因 解决方法
移动样品后画面变模糊 显微镜不垂直 调垂直显微镜
样品台不水平 调水平样品台
样品不平
显微镜视场亮度不足，边缘切割或看不到像 转换器不在定位位置上 把转换器转到定位位置上
管镜转盘不在定位位置上 把管镜转盘转到定位位置上
照明的亮度不足 调节光源亮度或者把孔径光栏孔调大
没有装目镜 装上目镜
没有装物镜 装上物镜
显微镜像质变差 目镜脏物镜脏管镜脏 对目镜，物镜，管镜脏的地方进行清洁
孔径光栏关的太大或者太小 调节孔径光栏
没有调好焦 调节调焦手轮
样本上盖有盖玻片等介质 移开盖玻片等介质
图像一边清晰，一边模糊 样本倾斜放置 放平样本，或者调节样品台水平
物镜没有旋紧 旋紧物镜
眼睛容易疲劳 双目头的瞳距和操作者不匹配 调节双目头的瞳距
目镜视度调节不正确 调节目镜视度
照明亮度不合适 调节光源亮度或者孔径光栏孔