Emmi微漏电侦测系统组成

Emmi微漏电侦测系统简介

Emmi微漏电侦测系统是失效分析领域在破坏性分析过程中*的一项分析手段，其原理为利用红外线探测器，侦测IC或者元器件的漏电发光位置，为芯片漏电分析做出准确定位。

 2、Emmi微漏电侦测系统组成

    主机一套；InGaAs 摄像头 1套;显微镜1套；探针台1台；

    控制电脑1台;控制软件1套

  3、技术指标

3.1、摄像头部分：

   3.1.1 InGaAs CCD，可降温到-70℃（外置式冰水机及半导体制冷同时工作）

   3.1.2侦测波长范围满足900nm to 1700nm

   3.1.3 接收红外像素640*512

   3.1.4 UV~NIR波段均可侦测; 1000至1300nm波长量子效率≥70%

   3.1.5像素尺寸： 20umX20um

   3.1.6采集晶片尺寸： 9.6×7.68mm；

   3.1.7 曝光时间 20ms及以上

   3.1.8 CCD系统读写噪声：少于30电子。

3.2、显微镜部分：

   3.2.1采用日本MITUTOYU FS-70高解析度NIR显微镜

   3.2.2 NIR物镜2.5X（NA=0.1）、NIR5X（NA=0.14）、NIR20X（NA=0.4）、NIR50X（NA=0.5）

   3.2.3电动控制物镜切换

   3.2.4具备NIR emmi光源（355nm-1550nm）及可见光源（355nm-700nm）并可软件切换

3.3、探针台部分

   3.3.1 八英寸探针台1套，龙门式电动控制

   3.3.2 8" x 8" travel X-Y with big knob driven

   3.3.3 高精度探针座4组，移动精度0.7um

   3.3.4同轴探针杆4组，自带BNC公头

   3.3.5 真空开关独立控制卡盘样品吸附，一键气浮式导航系统，手柄按钮启动后承载台处于气浮状态，具备手柄按钮定位系统，定位后关闭气浮系统，反向真空吸附承载台。

3.3.6配合back side及front side应用

3.3.6点针固定平台

3.3.7探针点针固定装置

3.4、控制电脑

   3.4.1  I5 CPU

   3.4.2  1T硬盘

   3.4.3  21寸LED显示器以上

   3.4.4  电脑配置视当时主流配置定制

3.5、主机构

   3.5.1 电动X, Y stage, 移动范围50mm, 移动精度: 1um（能数值显示）

   3.5.2电动Z stage, 移动范围60mm, 移动精度: 0.1um（能数值显示）

   3.5.3 防震桌系统  防震效率 @ 10Hz  97%

   3.5.4 屏蔽箱采用防震桌一体式屏蔽箱，右向左滑动式开门（非对开门）保证开门过程中尽量少震动

   3.5.5 NIR照明灯

3.5.6具备系统远程控制台及软件控制单元

3.5.7软件控制及远程控制台可同时控制主机构移动及更换镜头，至少三种移动速度选择。（相应速度可自己设定，需包含移动保护单元）；

3.5.8 IR光可透过蓝膜，对衬底直接观测