气体质量流量计既的原理是什么

　　气体质量流量计既可进行气体流量计量工作，也可用于过程控制领域。它引进美国先进技术生产，无须温压补偿，直接测出流体的质量流量。工作原理气体流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。

 

　　小流量气体质量流量计是自主研制的MEMS流量传感芯片，其原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。

 

　　当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成稳定的温度场分布。一旦一定质量的气体流过传感器时，气体的流动将破坏该温度场的分布，形成特定的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。

 

　　微机电系统流量计芯片上的传感器将测量这一变化并把这一变化转换为电信号，由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不同，因而能测量气体的质量流量或总流量。

 

　　质量流量计通常分为气体质量流量计、差压式质量流量计和科里奥利质量流量计。

 

　　简单来说，气体质量流量计通常测量旁路毛细管内通过气体的前后热量变化来测量质量流量；压差式质量流量计通过测量做层流运动的气体的两点之间的压力差来计算流量；科里奥利质量流量计则是通过测量两个并排U形管振动前后的差异来测量气体的质量流量。