企业概要

Company Profile

总部	堀场制作所 HORIBA, Ltd.
董事会成员	集团会长兼 CEO　堀場厚
	副会长兼集团 COO　齊藤壽一
	董事长兼 COO　足立正之
创立	1945年 10月17日
成立	1953年 1月26日
总部	601-8510 京都市南区吉祥院宫之东町2番地
注册资本	120.11 亿日元 (截至2020年12月31日)
综合净销售额	1870.8 亿日元 (至2020年12月31日)　» 投资者相关页面
员工数量	8,269 (截至2020年12月31日)
业务范围	生产和销售汽车排放测量系统、环境测量仪器、种类齐全的科学分析仪、体外诊断分析仪和半导体行业使用的测量设备等。HORIBA还生产和销售外围测量与分析设备。此外，公司还可为实验室等机构提供用于研发、生产和其他应用的测量与分析设备
结算日	12月31日
上市	东京证券交易所第1部
日本分部	京都总部、滋贺、东京、宫城、枥木、茨城、神奈川、静冈、爱知、大阪、香川、广岛、福冈、熊本
海外分部	奥地利、巴西、加拿大、中国、法国、德国、印度、印度尼西亚、意大利、日本、韩国、波兰、俄罗斯、新加坡、中国台湾、泰国、英国、美国、越南

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在比利时、捷克、荷兰、葡萄牙、俄罗斯、西班牙、瑞典和越南设立分公司
截至2020年12月31日

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SC-2浓度计监测仪 CS-152高精度化学药液浓度计专为半导体制造时清洗制程中所使用的SC-1溶液而设计。实现了过去所没有的高速响应性和小巧化，可用于监测清除金属离子时所使用的SC-2溶液（HCl/H2O2/H2O）中的各成分浓度。

SC-2浓度计监测仪 CS-152 产品详情

SC-2浓度计监测仪 CS-152

SC-2浓度计监测仪 CS-152高精度化学药液浓度计专为半导体制造时清洗制程中所使用的SC-1溶液而设计。实现了过去所没有的高速响应性和小巧化，可用于监测清除金属离子时所使用的SC-2溶液(HCl/H2O2/H2O)中的各成分浓度。依据浓度计的输出而进行的反馈控制，可以确保SC-1溶液的浓度保持在允许范围内，同时，还可以避免不必要的药液更换工作。由于测量周期短，可以精确地跟踪浓度变化，小巧化设易于组装到清洗装置中。

特征

・监测周期大约为3秒，支持300mm工艺的浓度管理。
实现了以大约3秒这样短的测量周期，大幅提高了浓度的实时跟踪性。支持向批次式和单槽式清洗装置定时反馈浓度信息。

・通过采取全面的气泡对策，可监测高温样品
在脱泡槽中分离气泡，在监测过程中进一步利用电磁阀把气泡混入监测单元内的发生次数抑制在zui低限度。并且，如果是冷却器一体型产品，则可以直接倒入高温度样品至浓度计。温度补偿将自动进行。

・采用DC24V，实现高安全性
电源采用DC24V低压电，提高了安全性以避免触电事故的发生。并且，由于内置漏水传感器，在发生漏水时可以切断SC-1溶液的供应等，采取紧急措施。

关键词：浓度计电磁阀冷却器传感器

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