HF/HCl浓度计监测仪 HF-960H
HF/HCl浓度计监测仪 HF-960H适用于测量高浓度的氢氟酸和盐酸等HF-960H精确测量用于半导体制造或其它制程中所使用的氢氟酸和盐酸。使用4-电极电导率测量转换,测量范围广。的FES-510系列传感器使用高抗药性的材料制成,可对应高浓度的氢氟酸和盐酸。其对偶电路和软件与4-极式炭质传感器相结合测量范围可达0至1000mS/cm而无需切换。由于具有两种浓度转换功能,所以可将其作为过程浓度计使用,也可监测特定化学药液中的浓度变化。
特征
- 大量程适用
自动小数点位调整能够测量的TMAH量程从0.000至10.00%。
- 自动显示范围切换
从高至低浓度显示范围自动切换。当维持有效的电导率分辨率是也可使用该产监测变化
- 可测3种数值:TMAH浓度值、电导率计和温度
当基于相关温度特性数据补偿温度时测量TMAH浓度。本机也可用于测量其它化学药液的电导率。
- 耐药性4-极炭质传感器
采用了新型的使用高耐药性玻璃碳材料的FES-510系列4-极式流通型传.
- 4-通道传送输出
本机配有4个输出通道,所以可分别用于温度、电导率和温度。可从2个类型的输出电流中进行选择:4至20 mA DC, 或 0 至 20 mA DC.
- 24 V DC 电源
- RoHS兼容