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芯明天放大机构式压电扫描台 P16压电扫描台为XY轴平移扫描台，机构放大设计原理，中心通孔孔径为20mm，该系列扫描台有50μm与100μm两种规格行程 可选，开环闭环可选。方形移动台面，便于与外部机械结构安装连接。
P16压电扫描台特性
•大位移100μm
• 大承载1.5kg
• 通孔尺寸：Ø20mm
• 闭环重复定位精度高 • 开环闭环可选
刚度大、谐振频率高、负载能力大
P16系列压电扫描台，采用机构放大设计原理，内置高性 能压电陶瓷，两个规格型号扫描台分别可实现50μm与100μm 的运动行程，一体式结构设计XY轴运动无耦合，优异的结构 可以承载1.5kg的负载，空载谐振频率达400Hz。
P16.XY100版本为中心对称运动方式，需配套带有一通道 恒压的三通道压电控制器。
P16二维压电扫描台中心通孔尺寸Ø20mm，该系列压电 扫描台以其小体积、大负载、高动态等特性广泛应用于显微成 像等领域。
芯明天放大机构式压电扫描台P16压电扫描台典型应用
• 显微成像 • 表面检测
• 干涉/计量 • 精密定位
• 光学 • 微操作
应用实例
P16.XY二维压电扫描台以其大承载、高频率等特点，应用于光 路调整实验中，带载大镜架做XY轴精密运动。
P16压电扫描台技术参数：
|
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P16.XY50S P16.XY50K |
P16.XY100S P16.XY100K |
单位 |
| 运动自由度 | X、Y | X、Y |
| |
| 标称行程范围（0~120V） | 40/轴 | 80或±40/轴 | μm±20% | |
| 大行程范围（-20~150V） | 55/轴 | 100或±50/轴 | μm±20% | |
| 传感器类型 | SGS/- | SGS/- |
| |
| 通孔尺寸 | Ø20 | Ø20 | mm | |
| 闭/开环分辨率 | 10/5 | 10/5 | nm | |
| 闭环线性度 | 0.4/- | 0.4/- | %F.S. | |
| 闭环重复定位精度 | 0.1/- | 0.1/- | %F.S. | |
| 俯仰/偏航/滚动 | <20 | <25 | µrad | |
| 推/拉力 | 30/10 | 30/30 | N | |
| 运动方向刚度 | X0.5/Y0.5 | X0.5/Y0.5 | N/μm±20% | |
| 空载谐振频率 | X200/Y200 | X400/Y400 | Hz±20% | |
| 闭/开环空载阶跃时间 | 10/0.8 | 10/1.6 | ms±20% | |
|
闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 50 | 100 |
Hz±20% |
| 行程 | 20 | 40 | ||
| 大承载 | 1.5 | 1.5 | kg | |
| 静电容量 | 1.8/轴 | 3.6/轴 | μF±20% | |
| 材质 | 钢、铝 | 钢、铝 |
| |
| 重量 | 200 | 220 | g±5% | |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
