1~3维精密微动压电平台内置高性能压电陶瓷作为驱动元件，采用SGS传感器闭环，实现精密高速定位运动，产品结构紧凑，易于集成，采用分离式结构设计，减小了两自由度之间的耦合，采用高可靠性的压电陶瓷驱动，具有较高的重复定位精度和纳米级位移分辨率，机体材料分铝合金，严格保证构结精度;采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构；采用*的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力。
1~3维精密微动压电平台典型应用
• 显微成像 • 纳米定位
• 生物技术 • 半导体技术
• 质量保证测试 • 微车削
• 原子力显微镜
■ 产品特性
1.采用高性能的压电陶瓷驱动;
2.具有开环和闭环两种规格型号;
3.采用数控、线切割等加工工艺，严格保证构结精度;
4.采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构；
5.采用*的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力；
6.超高性能的开/闭环扫描平台。
型号说明：
| 产品型号 | PK3L60-080U | PK3L60-080U-S | 公差 | |
| 运动自由度 | X、Y、Z | X、Y、Z | - | |
| 传感器类型 | - | Strain Gage | - | |
| 标称行程范围（@0~+120V） | 80 μm/轴 | 80 μm/轴 | ±20% | |
| 行程范围（@-20~+150V） | 100 μm/轴 | 100 μm/轴 | ±20% | |
| 分辨率 | 5 nm | 7 nm | typ. | |
| 重复定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | |
| 线性度 | - | 0.15% F.S. | typ. | |
| 承载能力 | 6 N | 6 N | Max. | |
| 刚度 | 0.8 N/μm | 0.8 N/μm | ±20% | |
| 谐振频率 | 0g | （X）210 Hz、（Y）210 Hz、 （Z）190 Hz | （X）210 Hz、（Y）210 Hz、 （Z）190 Hz | ±20% |
| 静电容量 | 1.6 μF/轴 | 1.6 μF/轴 | ±20% | |
| 工作温度范围 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
| 驱动电压范围（*）1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | |
| 线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | |
| 外形尺寸(LxH) | 60×60×24 mm | 60×60×24 mm | - | |
| 重量 | 180 g | 180 g | ±5% | |
| 本体材质2 | 铝（B）、钢 | 铝（B）、钢 | ||
