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S51压电偏摆/旋转台是中心通孔三维θxθyZ轴压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，80×80mm中心大通 孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。
特性：
θx, θy 偏摆运动，Z向升降 • 闭环定位精度高 • 响应速度快 • 透光孔：80×80mm
典型应用
• 扫描显微 • 激光合束对准与激光致盲
• 干涉/计量 • 空间扰动模拟系统
• 生物技术 • 掩模与晶片位置调整
仿真分析
通过有限元FEA优化的铰链用于导向机构偏转台。有限元分析技术用于设计运动方向上的刚度，并减少角度偏差。铰链部分允许 *精度的运动，因为铰链机构无间隙、无摩擦。
超高导向精度、分辨率高、闭环传感精度高
S51系列压电偏转台为θx,θy轴偏摆Z轴升降台，偏转 行程为±1.1mrad，Z轴直线行程可达110μm。P51偏转台台体采用无回差柔性铰链导向结构，采用 有限元分析进行优化，具有超高的刚度以及导向精度。可选择内置精密传感器进行全闭环位置反馈，确保其 具有的运动控制精度，直线运动分辨率可达到亚纳米 级、偏转分辨率达亚微弧度、定位稳定时间为毫秒量级。
超薄的设计适用于显微应用
S51系列偏摆/倾斜、升降台是专门为对准、纳米聚焦、计量等应 用设计的，台体非常薄，厚度仅为20mm，非常易于集成到高精度显 微镜中。
S51压电偏摆/旋转台技术参数：
型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | S51.ZT1S S51.ZT1K | 单位 |
运动自由度 | θx, θy, Z | ||
标称直线行程范围(0~+120V) | 80 | μm±20% | |
大直线行程范围(-20~+150V) | 110 | μm±20% | |
标称偏摆角度 (0~+120V) | ±0.9/ 轴 | mrad±20% | |
大偏摆角度 (-20~+150V) | ±1.1/ 轴 | mrad±20% | |
传感器类型 | SGS/- | ||
闭/开环Z向位移分辨率 | 7/4 | nm | |
闭/开环θx, θy偏摆分辨率 | 0.25/0.05 | μrad | |
闭环线性度 | 0.1/- | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.05/- | %F.S. | |
推/拉力 | 120/15 | N | |
运动方向刚度（Z向） | 1.5 | N/μm±20% | |
空载谐振频率 | 230 | Hz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 30/4.5 | ms±20% | |
闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 50 | Hz±20% |
行程 | 15 | ||
大承载 | 1 | kg | |
静电容量 | 3.6/ 轴 | μF±20% | |
材质 | 铝、钢 | ||
重量 | 820 | g±5% | |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
