E01.Cap 电容式测微仪-仪表网

公司介绍主营产品

哈尔滨芯明天科技有限公司是专业从事微运动器（压电陶瓷）和微运动控制器（压电陶瓷控制器）产品的开发、生产、销售及服务的高科技企业，我们的微运动器和微运动控制器产品是推动微制造、微工业、微军事、微生物、微医疗、微光学等微观领域发展的核心技术，是了解和操纵微观世界的机器心脏。

哈尔滨芯明天科技有限公司经过多年的项目研究与技术积累，拥有了自己的核心技术，开发出了系列化的微运动器与微运动控制器产品，广泛地应用于国内各高校、科研院所及生物显微镜、光学仪器、燃油喷射系统、微小器件加工机床的公司；公司与哈尔滨工业大学的多个研究所有着多年的密切合作关系，按照科研与产业化相结合的道路持续发展；公司拥有雄厚的技术储备和研发制造能力，并且拥有一群充满热情和富有创新能力的青年队伍。

微运动器（压电陶瓷）产品是微小运动或微小变化的执行器，典型特点是体积小、重量轻、输出力大、功耗低、运动速度快、运动精度高、运动分辨率高。

微运动控制器（压电陶瓷控制器）产品是控制微运动器如何产生和产生多大的微小运动或变化的控制器，与微运动器配套使用；具有液晶显示、智能控制算法、驱动功率大、嵌入式计算机控制等特点。

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产地	国产	加工定制	是

E01.Cap 电容式测微仪是毫米级测量范围、纳米级测量精度的仪器。测微仪包括电感测微仪、电容测微仪、激光测微仪三种类型，主要用于高精度测量长度、厚度、深度、锥度等应用。

E01.Cap 电容式测微仪产品详情

E01.Cap 电容式测微仪是毫米级测量范围、纳米级测量精度的仪器。测微仪包括电感测微仪、电容测微仪、激光测微仪三种类型，主要用于高精度测量长度、厚度、深度、锥度等应用。

原理

它基于一个理想的平行板电容器原理，传感器与相对面被测目标形成的两个电极，采用保护环电容器原理，用于测量任何金属时，传感器仍是线性的。

E01.Cap 电容式测微仪技术参数

型号	E09.Cap	单位
量程范围	0~200	μm
线性度	±0.1	μm
静态分辨率	2.5	nm
动态分辨率（1kHz）	100	nm
传感器直径	10	mm
小目标直径	10	mm
静态重复性	5	nm
信号温度稳定性	＜ 0.005	%FSO/℃
长期稳定性	＜ 0.04	%FSO/ 月
带宽	2	kHz（-3dB）
工作温度范围	+10~+50	℃
环境湿度	<85	%
电压输出范围	0~+10	V
供电电压	220VAC 50Hz±10%
传感器线长	1.6	m
板卡尺寸：长×高× 深	35×130×180	mm
机箱尺寸：长×高× 深	280×170×360	mm

特性：

• 模块化设计、自由组拼

• 可提供单个板卡模块

• 高分辨率 • 模拟输出

• 非接触式测量

应用：

• Z向水准测量 • X, Y向定位

• 轴向振动测量

• 热膨胀测量 • 位移台传感器

关键词：电容器传感器

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