小体积超精密电容测微仪-仪表网

公司介绍主营产品

哈尔滨芯明天科技有限公司是专业从事微运动器（压电陶瓷）和微运动控制器（压电陶瓷控制器）产品的开发、生产、销售及服务的高科技企业，我们的微运动器和微运动控制器产品是推动微制造、微工业、微军事、微生物、微医疗、微光学等微观领域发展的核心技术，是了解和操纵微观世界的机器心脏。

哈尔滨芯明天科技有限公司经过多年的项目研究与技术积累，拥有了自己的核心技术，开发出了系列化的微运动器与微运动控制器产品，广泛地应用于国内各高校、科研院所及生物显微镜、光学仪器、燃油喷射系统、微小器件加工机床的公司；公司与哈尔滨工业大学的多个研究所有着多年的密切合作关系，按照科研与产业化相结合的道路持续发展；公司拥有雄厚的技术储备和研发制造能力，并且拥有一群充满热情和富有创新能力的青年队伍。

微运动器（压电陶瓷）产品是微小运动或微小变化的执行器，典型特点是体积小、重量轻、输出力大、功耗低、运动速度快、运动精度高、运动分辨率高。

微运动控制器（压电陶瓷控制器）产品是控制微运动器如何产生和产生多大的微小运动或变化的控制器，与微运动器配套使用；具有液晶显示、智能控制算法、驱动功率大、嵌入式计算机控制等特点。

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产地	国产	加工定制	是

小体积超精密电容测微仪是具有微米或毫米级测量范围、纳米级测量精度的仪器，主要用于高精度长度（深度、高度、厚度、直径、锥度）测量、振动测量、微位移检测等，在航天、航空、汽车、机床、光学器件加工、半导体及其它工业测控等领域广泛应用。

小体积超精密电容测微仪产品详情

小体积超精密电容测微仪

高精度测微仪是具有微米或毫米级测量范围、纳米级测量精度的仪器，分为电感式、电容式、激光式。主要用于高精度长度（深度、高度、厚度、直径、锥度）测量、振动测量、微位移检测等，在航天、航空、汽车、机床、光学器件加工、半导体及其它工业测控等领域广泛应用。

本次为大家带来一款芯明天小体积超精密电容式传感器。它由两部分组成，分别为电容探头及控制盒。电容探头为非接触式，尺寸为Φ10mm×18.5mm，通过电容测头可以测量0~500μm范围内的微小位移，测量分辨率可达1.25nm。控制盒尺寸仅有105×26×66mm^3，单通道输出，体积设计非常小巧，易集成。整体外观如下图所示。

产品特点

测量范围 0~500 μm

分辨率可达1.25nm

非接触式测量

体积小、易集成

小体积超精密电容测微仪典型应用

电容式传感器优势

1.稳定性好。电容传感器的电容值通常与电极材料无关，这有利于选择具有低温系统的材料，并且由于它产生的热量很少，因此对稳定性的影响很小。

2.结构简单。电容式传感器结构简单，易于确保高精度，并且可以做得很小，可以在特殊环境下测量，如高低温、强磁等恶劣环境。

3.动态响应良好。由于极板之间的静电引力很小，其运动部分可以做得非常小和薄，因此固有频率很高，动态响应时间短，并且可以在几兆赫兹的频率下工作，特别适合动态测量。

4.非接触式测量。使用非接触式测量时，可以减小工作表面粗糙度对测量的影响。

系统组成

芯明天电容测微仪由两部分组成，分别为电容测头/电容传感器、传感信号处理控制模块。

（1）电容测头/电容传感器

芯明天该款电容测头（即电容传感器）是圆柱型，采用平行极板原理，当被测物与电容测头间的距离发生变化时，它可将这种距离变化转换为相应的容抗变化。

原理图

技术参数

型号	C01D10	C02D10	C05D10	单位
量程范围	0~100	0~200	0~500	μm
静态分辨率	1.25	2.5	5	nm
动态分辨率（1kHz）	50	100	200	nm
线性度	50	100	200	nm
重复度	2.5	5	10	nm
传感器直径	10			mm
被测表面最小直径	10			mm
传感器线长	1.5			m
固定方式	径向装夹
探头尺寸	Φ10×18.5			mm
重量 (含线及连接器)	55			g

注：可定制1mm量程版本。

（2）传感信号处理控制模块

传感信号处理控制模块是专为匹配芯明天电容传感器而研发设计，主要功能是将电容传感器的位移信号转换为电信号。它具有小巧紧凑的外形，非常适用于实验室及工业等各种场合的应用。

技术参数

控制器型号	E75.CapA1-H	单位
通道数	1
静态分辨率	0.00125	%F.S.
动态分辨率	0.05 (2kHz)	%F.S.
模拟信号输出速度	2	kHz
绝对误差	±0.2	%F.S.
线性度	0.05	%F.S.
重复精度	0.0025	%F.S.
信号温度稳定性	＜0.005	%FSO/℃
长期稳定性	＜0.04	%FSO/月
带宽	2	KHz（-3dB）
工作温度	+10~+50	℃
存储温度	-10~+75	℃
环境湿度	<85	%
供电电压	24VDC/±50mA	V
电压输出范围（模拟）	0~10	V
传感器输出接口	SMA
尺寸（L×W×D）	105×26×66	mm
重量	0.18	kg

此外，芯明天具有模块化的电容传感器信号处理控制模块 - E09.CAP系列，它的测量通道数可在1至12通道间自由选择，同时也可根据需求定制更多的测量通道数。

芯明天E09.CAP系列电容传感信号处理模块

关键词：连接器传感器控制模块

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