产品介绍潘宁冷阴极电离真空计 PEG100
优点
- 测量范围广,从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托)
- 全金属冷阴极传感器(潘宁),带陶瓷馈入装置
- 创新的电极几何形状提供的点火属性
- 等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险,即使在有氩气的溅射运行中
- 阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换
- 小化真空计附近的磁场强度
- 用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器
- 对数模拟输出信号
- 现场总线接口(Profibus DP、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中
典型应用潘宁冷阴极电离真空计 PEG100
- 高真空压力监控
- 蒸发溅射系统
- 高真空范围内的一般真空测量和控制
- 主要代理业务 :
1、美国Inficon的石英晶体膜厚控制仪,氦质谱检漏仪、真空规管、压强控制仪、真空阀门、真空法兰、四级质谱仪。
2、美国Varian分子泵、扩散泵、干泵、氦质谱检漏仪、真空规管、真空阀门、真空法兰。
3、美国Telemark电子枪、超低温冷阱、880型石英晶体膜厚控制仪、晶振片。
4、日本日立公司的质量流量计(原美国AE)。
5、美国Angstrom Sciences 磁控溅射阴极和靶材、阴极翻新。
6、英国爱德华公司分子泵,机械泵,干泵,真空计,各种真空阀门