IC6 薄膜沉积控制器
INFICON ModeLock 技术确保获得、较稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度
支持多六个来源同时共沉积
产品介绍
功能IC6 薄膜沉积控制器
- INFICON ModeLock 技术确保获得、稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
- Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度
- 支持多六个来源同时共沉积
- 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
- 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
- USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
- 强大的 I/O 凭借其灵活性可融入简单或复杂的系统（使用可扩展输入 (28) 和输出 (24 继电器，14 TTL 输出)，并充分利用逻辑功能（100 个逻辑语句）
- 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
- 可容纳多 50 个过程，每个过程 200 层，这些过程关联到一起，总共可容纳 10,000 层。
- 多路传感器可平均分配为 8 个传感器
- 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
- 可选以太网通信
- 符合 RoHS 标准
典型应用IC6 薄膜沉积控制器
- 光学镀膜
规格
| 类型 | IC6 | |
|---|---|---|
| 测量性能 | ||
| 分辨率 (1) | 0.00433 Å/s/M | |
| 大晶体频率偏移 | 1.5 MHz | |
| 晶体范围和精确性（来自 100-ms 样品） | 6.0 to 4.5 MHz +/- 0.0035 Hz | |
| 厚度精度 (2) | 0.5% | |
| 测量频率 | 10 Hz | |
| 多个测量值平均 | 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed | |
| 设计功能 | ||
| Auto Z | yes | |
| 自动色调 | yes | |
| 共沉积 | yes (up to 6 sources) | |
| 过程配方和数据管理 | ||
| 材料计划 | 32 | |
| 过程层（每个过程） | 200 | |
| 过程 | 50 (processes can be linked together) | |
| USB 存储器 | yes | |
| 数据记录 | yes | |
| 硬件功能 | ||
| 传感器 (3) | ||
| 单 | 8 | |
| 双 / CrystalTwo® | 4 / 8 (with CrystalTwo® Switch) | |
| CrystalSix® | 8 | |
| Crystal 12® | 8 | |
