昆山国华电子告诉您光刻胶原理
光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一,特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展,更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。1954 年由明斯克等人首先研究成功的*肉桂酸脂就是用于印刷工业的,以后才用于电子业。
按照应用领域,光刻胶有以下四个应用领域:
①印制线路板(PCB)光刻胶
② 液晶显示屏(LCD)光刻胶
③ 有机发光二极管(OLED)光刻胶
④ 半导体晶圆加工刻蚀用光刻胶
普通的光刻胶在成像过程中,由于存在一定的衍射、反射和散射,降低了光刻胶图形的对比度,从而降低了图形的分辨率。为了提高曝光系统分辨率的性能,人们正在研究在曝光光刻胶的表面覆盖抗反射涂层的新型:光刻胶技术。该技术的引入,从而改善光刻胶的分辨率性能,但由此将引起工艺复杂性和光刻成本的增加。
在大规模集成电路的制造过程中,光刻和刻蚀技术是精细线路图形加工中重要的工艺,决定着芯片的小特征尺寸,占芯片制造时间的40-50%。光刻胶是光刻工艺得以实现选择性刻蚀的关键材料。
半导体光刻胶随着市场对半导体产品小型化、功能多样化的要求,不断通过缩短曝光波长提高极限分辨率,从而达到集成电路更高密度的积。
昆山国华电子告诉您光刻胶原理:
目前,半导体光刻胶按照硅晶圆加工工艺可分为三类:
① 6寸硅晶圆工艺用:主要包括i-line和g-line光阻材料
② 8寸硅晶圆工艺用:主要包括i-line和KrF光阻材料
③ 12寸硅晶圆工艺用:主要包括ArF光阻材料
光刻胶的研发,关键在于其成分复杂、工艺技术难以掌握。光刻胶主要成分有高分子树脂、色浆、单体、感光引发剂、溶剂以及添加剂,开发所涉及的技术难题众多,需从低聚物结构设计和筛选、合成工艺的确定和优化、活性单体的筛选和控制、色浆细度控制和稳定、产品配方设计和优化、产品生产工艺优化和稳定、终使用条件匹配和宽容度调整等方面进行调整。因此,要自主研发生产,技术难度非常之高。
我们昆山国华电子也在为半导体行业做后盾:引线键合打线:集成电路引线键合的质量对微电子器件的可靠性有决定性影响,键合区必须无污染物并具有良好的键合特性。污染物的存在,如氧化物、有机残渣等都会严重削弱引线键合的拉力值。传统的湿法清洗对键合区的污染物去除不*或者不能去除,而采用等离子体清洗能有效去除键合区的表面沾污并使其表面活化,能明显提高引线的键合拉力,*的提高封装器件的可靠性
假如您对等离子清洗机也感兴趣的,请关注我们吧。