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Setra西特217超高纯压力变送器
217G025PGE11106J
217G050PGE11106J
217G250PGE11106J
217G500PGE11106J
217G1000PGE11106J
217G2000PGE11106J
217G3000PGE11106J
217G0R7BGE11106J
217G3R4BGE11106J
217G017BGE11106J
217G007
Setra西特217超高纯压力变送器
Setra西特217超高纯压力变送器
217G025PGE11106J
217G050PGE11106J
217G250PGE11106J
217G500PGE11106J
217G1000PGE11106J
217G2000PGE11106J
217G3000PGE11106J
217G0R7BGE11106J
217G3R4BGE11106J
217G017BGE11106J
217G007BGE11106J
217G035BGE11106J
217G138BGE11106J
Setra 217 型压力变送器专为模块式 “Block” 气体棒和面板设计，非常适合恶劣环境（例如冷气流导致的温度瞬变下的压力测量应用于·模块式“Block”气体棒和面板·高纯度气体输送系统半导体过程工具。
特性
·316 L VIM/VAR 不锈钢
·表面抛光度 7 Ra
·1×10-9 ATM.CC/sec 级别的氨渗漏实验
·出色的稳定性，避免停机
·可选带 C 型或 W 型密封的压力端口
·抗电磁干扰 / 射频干扰，可防止误停机
·易于吹扫
·符合 CE 和 RoHS 标准要求
应用
·模块式“Block”气体棒和面板
·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具
217 型压力变送器可选带 C 型或 W 型密封的朝下安装的压力
端口，带有易于吹扫的小型传感器腔室。所有接液部件均采
用 VIM/VAR 316L 不锈钢制造，且表面钝化抛光至 5 Ra（蕞
大 7 Ra），确保表面平整且耐化学腐蚀，实现无污染气体输送。
每个传感器都采用质谱仪进行了 1 x 10-9 ATM.CC/sec 级别的
氦渗漏试验。
217 型压力变送器可选 5 VDC、 10 VDC 或 4-20 mA 三种
输出类型，并提供多种标准电气接口。顶部外侧带有零点
和量程调整装置，进一步体现了*设计，适合所有朝下
安装的 UHP（超高纯）压力测量应用。 217 型同时也是
一款获砖利的可变电容传感器，采用 316L 不锈钢隔膜和
绝缘电极板，可变电容在传感器本体与电极板之间形成。
当气体压力提升时，隔膜会变得略圆，使电容减小。传感
器将检测到电容变化，并基于砖利的电荷平衡原理，通过
Setra *的定制集成电路将其转换为高精度的线性直流
电信号。
Setra 所有的超高纯系列产品都基于 Setra 成熟的电容传
感技术制造，能提供几乎不受 EMI/RFI 干扰的高精度、稳
定的电压或电流输出信号。
